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更新时间：2026-09-21 
浏览次数：2超高纯氮气、氩气、氦气等惰性气体是半导体、特种材料、空分行业的核心工艺介质，ppb 级微量水汽就会造成晶圆氧化、薄膜缺陷、催化剂失效。日本 tekhne（テクネ計測）TK-100 静电容量式露点变送器，可测至 - 100℃dp，专门用于超高纯气体管路中微量水分的连续在线监测，是超纯气体品质管控的核心仪表。
tekhne 拥有 40 年以上水分测量仪器研发制造经验，TK-100 作为品牌主力露点变送器，整套包含变送器、显示监视器、传感器电缆，到货即可快速搭建在线监测系统。整机日本本土研发、生产、校准，测量数据可溯源至国家标准，满足工厂质量审核、工艺追溯的要求。
测量量程：-100 ~ +20℃dp，可检测 ppb~1ppm 级超微量水分
测量精度：±2℃dp，快速响应，捕捉气体水分微小波动
传感原理：超薄氧化铝陶瓷静电容量传感器，内置温度补偿
维护亮点：传感器参数预存于变送器，传感器可互换，更换无需重新标定，大幅缩短产线停机维护时间
在空分制气、特种气体输送管路，TK-100 直接安装在主管路，持续在线监测气体露点，实时验证气体纯化器的工作效果。一旦纯化装置老化、管路密封泄漏引入水汽，仪表快速检出并报警，避免不合格超高纯气体送入下游工艺腔体。
半导体刻蚀、沉积、退火等工序使用超高纯氮气、氩气作为载气与保护气。气体中微量水汽会在晶圆表面生成氧化层，造成线路缺陷。TK-100 实时监测供气露点，严控 ppb 级水分，保障晶圆加工良率。
纯化设备是获得超高纯气体的关键，分子筛、吸附剂失效会直接导致气体水分超标。TK-100 安装在纯化器出口，持续监测露点变化，预判吸附材料寿命，提前安排保养更换，防止批量生产事故。
变送器输出 4-20mA 标准信号，可直接接入 PLC、中控系统，自动记录露点历史数据，支持超限报警，实现数字化工艺管控。方便企业完成质量记录归档，满足客户审核与体系认证要求。
直接插入式：传感器直接安装在气体管道内原位测量；
旁路采样方案：搭配过滤器、传感器座、流量计组成旁路采样回路，过滤管路杂质，保护传感器，延长使用寿命；
采样组件可选购成套启动套件，安装调试简单，不破坏高纯气密闭管路。
除超高纯气体检测外，TK-100 露点变送器还广泛用于手套箱、热处理炉保护气氛、洁净室干燥房、有机 EL 制造等超低水汽管控场景，短交期，配套售后技术支持。
tekhne TK-100 露点变送器凭借 - 100℃dp 超低测量下限、稳定的 ppb 级微量水分检测能力，以及免标定互换传感器的便捷维护特性，为超高纯气体产线提供连续、可靠的在线露点监测方案，从气源端守住工艺品质底线，降低微量水汽带来的产品报废风险。
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