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TK-100 在线露点仪 tekhne 氧化铝电容式露点测量设备

更新时间:2026-09-21      浏览次数:2

日本 tekhne(テクネ計測)深耕水分与露点测量领域 40 余年,TK-100 是品牌主力氧化铝电容式在线露点测量设备,专门用于工业超干气体内 ppb 级微量水分的连续在线监测,广泛应用于各类对水汽管控严苛的精密制造工艺。整套设备包含 TK-100 变送器、显示监视器、传感器电缆,开箱即可搭建完整露点测量系统。

核心测量原理

TK-100 搭载氧化铝电容式传感器,传感器基底为高纯铝,表面生成多孔氧化铝介质层,外层镀透气金薄膜,形成电容结构。当待测气体流过传感器,水分子被多孔氧化铝吸附,介质介电常数发生改变,电容值随之变化。变送器读取电容信号,结合内置温度补偿算法与预存标定曲线,直接换算输出露点数值。该传感原理对水汽选择性强,对氮气、氩气等惰性气体不敏感,适合超干燥气体微量水分检测。传感器特性参数预录入变送器,传感器可互换,更换探头无需重新标定,大幅降低现场维护成本与停机时长。

产品核心性能参数

  • 测量量程:-100 ~ +20℃dp,可检测 ppb~1ppm 级超微量水分

  • 测量精度:±2℃dp,响应速度快,快速捕捉管路内水分波动

  • 整机日本本土研发、制造、校准,测量数据可溯源至国家标准

  • 标准 4-20mA 信号输出,可对接 PLC、DCS 中控系统,支持数据记录与超限报警

主要应用场景

  1. 超高纯气体管路监测:氮气、氩气等工艺气体输送管线,在线验证纯化设备效果,提前发现管路泄漏、吸附剂失效等隐患。

  2. 手套箱气氛露点管控:半导体键合、有机 EL 制备手套箱,持续监测箱内惰性气氛,防止器件、材料遇水汽氧化降解。

  3. 热处理炉保护气氛检测:退火、烧结工艺炉内保护气监测,规避高温下水汽造成工件氧化、脱碳缺陷。

  4. 洁净室、干燥房环境监控:半导体、新材料车间干燥房与洁净送风管道露点监测,稳定车间低湿环境。

  5. 干燥机、空分设备性能检测:在线验证干燥设备除湿能力,保障后端工艺气源品质。

灵活安装方案

  • 直接安装:传感器螺纹接口直接接入气体管道或腔体原位测量;

  • 旁路采样方案:搭配过滤器、传感器座、流量计组成旁路采样回路,过滤杂质,保护传感器;

  • 采样配件可选购成套启动套件,现场安装调试便捷。

产品优势总结

tekhne TK-100 氧化铝电容式露点测量设备,凭借 - 100℃dp 超低检测下限、稳定的微量水分检测能力,加上免标定互换传感器的便捷运维特性,适配半导体、新材料、热处理、特种气体等行业超低露点在线监测需求。产品交期短,配套的技术售后支持,是工业超干气体露点在线检测的优选仪表。


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