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更新时间:2026-09-21
浏览次数:4有机 EL(OLED)器件属于对水汽极度敏感的光电器件,微量水汽就会侵蚀有机发光层,造成像素黑斑、发光衰减、器件寿命大幅缩短。有机 EL 生产全流程必须维持极低露点的惰性气氛环境,日本 tekhne(テクネ計測)TK-100 氧化铝电容式露点计,专门用于有机 EL 产线工艺气体微量水分在线监测,是 OLED 器件制造检测仪表。
tekhne 拥有 40 年以上水分管理、露点测量仪器研发制造经验,TK-100 是品牌主力在线露点变送器。整套系统包含 TK-100 变送器、显示监视器、传感器电缆,到货即可快速搭建露点监测系统。整机日本本土研发、制造与校准,测量数据可溯源至国家标准,满足 OLED 工厂质量体系审核与工艺追溯需求。
核心参数
测量量程:-100 ~ +20℃dp,可检测 ppb~1ppm 级超微量水分
测量精度:±2℃dp,响应迅速,可快速捕捉气氛中水分波动
传感原理:氧化铝电容式陶瓷传感,内置温度补偿
运维优势:传感器参数预存入变送器,传感器可互换,更换无需重新标定,减少产线停机,避免频繁开舱引入水汽污染
有机发光材料蒸镀、器件封装、材料保存等工序,均在充满高纯氮气 / 氩气的手套箱内完成。一旦箱内水汽超标,有机薄膜会发生水解劣化,直接导致器件报废。TK-100 持续在线监测箱内气氛露点,实时预警泄漏、除湿失效问题,稳定维持超低露点工艺环境。
有机 EL 产线使用的高纯氮气、氩气作为载气与保护气,气源内 ppb 级水分也会污染蒸镀腔体。TK-100 安装在气体纯化器出口、输送管路,在线验证纯化设备除湿效果,从气源端阻断水汽进入蒸镀腔体。
OLED 前段基板处理、后段封装车间干燥房,需要严格控制环境露点。TK-100 布置在送风管道与车间内部,联动除湿系统,控制环境水汽,防止基板、掩膜板吸附水分,保护精密光学与有机材料。
仪表支持 4-20mA 标准信号输出,可接入 PLC、中控系统,自动记录露点历史数据,露点超标自动报警。完整的工艺记录便于质量追溯,满足光电行业客户审核要求。
直接安装:传感器直接接入手套箱循环管路、工艺气体管道原位测量;
旁路采样方案:搭配过滤器、传感器座、流量计组成旁路采样回路,过滤管路微小杂质,保护传感器,延长使用寿命;
采样组件可选购成套启动套件,现场安装调试简单,不破坏产线密闭惰性环境。
除有机 EL 制造外,TK-100 露点计还广泛用于半导体封装、热处理炉保护气氛、超高纯气体、洁净室干燥房等超低水汽管控场景。产品交期短,配套的售后技术支持。
有机 EL 器件制造对水汽管控有着严苛要求,微量水分直接决定产品良率与使用寿命。tekhne TK-100 在线露点计凭借 - 100℃dp 超低测量下限、稳定的 ppb 级微量水分检测能力、免标定互换传感器的便捷维护特点,为有机 EL 产线提供可靠的工艺气体露点监测方案,守护 OLED 器件生产品质。
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