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更新时间：2026-09-21 
浏览次数：6日本 tekhne（テクネ計測）TK-100 氧化铝电容式在线露点计，量程 - 100~+20℃dp，专为超干气体 ppb 级微量水分监测开发，在半导体、OLED、热处理、高纯气体等行业大量落地应用，下面为您介绍多个现场实际使用案例。
客户背景：国内半导体封装企业，芯片键合工序在氮气手套箱内作业，水汽超标会造成焊盘氧化，出现虚焊、引脚锈蚀问题，之前依靠人工定期取样检测，存在滞后性，不良品偶发。应用方案：选用 tekhne TK-100，采用旁路采样方式接入手套箱循环管路，24 小时不间断在线监测箱内露点。使用效果：实时监控箱内气氛，一旦密封泄漏、纯化系统失效，露点超标立刻报警；传感器可互换，更换探头无需重新标定，减少开舱维护次数，避免开盖带入水汽。实施后，键合氧化不良率明显下降，工艺数据可完整留存，顺利通过客户质量审核。
客户背景：OLED 器件制造企业，有机发光材料对水汽极其敏感，微量水分会造成器件黑斑、寿命衰减，需要对蒸镀腔体供气氮气、氩气做持续水分管控。应用方案：TK-100 露点变送器安装在气体纯化器出口管路，在线监测高纯工艺气体露点，联动车间中控 PLC 系统。使用效果：持续验证纯化设备除湿性能，提前预判吸附剂失效，从气源端阻断水汽进入蒸镀腔体，稳定维持超低露点工艺环境，提升 OLED 器件良率。
客户背景：金属粉末冶金退火产线，炉内使用氮气作为保护气氛，炉内水汽过高会导致工件氧化、脱碳，造成工件表面瑕疵报废。应用方案：TK-100 安装在炉体出气旁路采样回路，搭配过滤器保护传感器，监测炉内保护气露点。使用效果：实时捕捉气氛水分波动，及时发现管路渗漏、干燥机故障，稳定控制炉内气氛品质，减少工件氧化报废，降低批量生产损失。
客户背景：特种气体供应厂商，为半导体、新材料客户供应超高纯氮气、氩气，需要持续监测气体出口露点，作为产品出厂品质依据。应用方案：TK-100 直接安装在气体主管路，在线连续检测，4-20mA 信号接入 DCS 系统，自动记录露点历史数据。使用效果：实时验证空分纯化系统效果，数据可溯源国家标准，作为产品质检凭证，满足下游半导体客户对气体水分的严苛验收要求。
客户背景：芯片封装车间干燥房，用于存放半成品芯片，需要长期维持低露点环境，防止芯片吸附水汽。应用方案：多台 TK-100 布置在干燥房送风管道与房间内部，监测环境露点，联动除湿机组。使用效果：稳定管控干燥房环境水汽，减少芯片半成品受潮风险，实现车间环境数字化管控。
测量量程 - 100~+20℃dp，可检测 ppb 级超微量水分，适配各类超干工艺；
日本本土制造校准，测量数据可溯源，满足制造业质量体系审核；
传感器免标定互换，现场维护简单，大幅缩短产线停机时间；
安装灵活，支持直接管道安装或旁路采样，可选购启动采样套件；
短交期，配套国内售后技术支持。
除上述案例外，TK-100 露点计还可用于干燥机性能检测、天然气水分监测等超低水分管控场景
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