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更新时间：2026-09-17 
浏览次数：2SSBL 属于气驱液往复柱塞增压泵，核心基于帕斯卡原理，依靠大活塞、小柱塞面积差实现压力放大；以工厂压缩空气作为动力源，无电机、无电气元件，纯机械换向自动往复，用来对纯水、IPA、NMP 等液体增压，适合半导体高压喷淋、薄膜剥离设备内置集成。
气动驱动缸（大活塞）：接入 0.05～0.5MPa 压缩空气，产生推力；内置气控自动换向阀，活塞走到行程端点自动切换进气方向，实现往复运动，不需要电控信号。
高压柱塞缸（小柱塞）：和大活塞同轴刚性连接。增压倍率 = 气动活塞面积 ÷ 高压柱塞面积，不同型号面积比不同，决定最大输出压力。
液路单向阀（提升阀）：入口单向阀、出口单向阀，控制液体单向吸入、高压吐出，防止介质回流。
接液密封组件：FKM 氟橡胶（纯水 / IPA）、Kalrez 全氟橡胶（NMP 强溶剂），搭配氟树脂、超高分子聚乙烯升压密封件，耐化学腐蚀。
吸入冲程（柱塞回退）压缩空气推动气动活塞向后退回，连带高压柱塞回缩，高压缸内部容积变大，形成负压。入口单向阀打开，出口单向阀关闭，低压药液被吸入高压缸腔体内。活塞走到行程末端，触发内部换向阀，压缩空气自动切换到另一侧。
吐出 / 增压冲程（柱塞向前推进）压缩空气推动大活塞向前，同轴小柱塞挤压高压缸内液体。依据帕斯卡原理：大活塞上的推力，传递到小柱塞上，压力被放大。此时入口单向阀关闭，出口单向阀被顶开，液体以高压向外吐出。
举例：SSBL-37.5A，输入 0.5MPa 驱动空气，最高可输出 17.6MPa 高压液体。
持续循环：活塞每次到达两端都会自动换向，不断重复吸液、增压吐出，持续输出高压流体。
输出压力正比于驱动气压：只需调节前端空气调压阀，改变输入压缩空气压力，即可无级调整液体吐出压力，无需复杂电气控制。
自动保压、空载待机：当管路压力达到设定压力，柱塞推力和出口负载压力平衡，泵会自动停止往复，不再消耗压缩空气；一旦管路压力下降（泄漏、喷射消耗），泵自动重启补压。
SSBL 经过结构优化，压力脉动小，很多工况可不用额外蓄压罐，适合半导体精密喷淋工艺，减少压力冲击损伤晶圆 / 光学器件。
纯气动无电化：没有电机、线圈，无电火花，天然防爆，适配 IPA、NMP 等易燃溶剂无尘车间。
介质适配灵活：只需要更换 O 型圈密封材质，即可切换纯水、IPA、NMP 等不同化学药液。
嵌入式紧凑结构：整套泵体体积小，可直接装进清洗设备腔体内部，作为 OEM 内置泵源。
小流量高压输出：柱塞式结构，主打小流量高压喷射，不是大流量输送泵，匹配晶圆 lift-off 剥离、单片高压清洗的工艺需求。
SSBL-20：最高 9.8MPa
SSBL-30：最高 14.7MPa
SSBL-37.5：最高 17.6MPa全部驱动气源范围：0.05~0.5MPa 压缩空气。
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