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日本tekhne TK-100 在线露点计 介绍

更新时间:2026-09-20      浏览次数:2

品牌:tekhne(テクネ計測|日本)

tekhne 拥有 40 余年水分管理与露点测量仪器研发、制造经验,TK-100 作为品牌主力静电容量式(阻抗式)露点仪,整套配置包含 TK-100 变送器、显示监视器与传感器电缆,到货即可快速搭建露点在线监测系统。


产品特点

  • 日本本土研发、生产、校准

  • 露点测量范围:-100 ~ +20℃dp

  • 测量精度:±2℃dp

  • 响应速度快

  • 高性价比,短交货周期

  • 技术支持与售后体系

  • 测量数据可溯源至国家计量标准



 典型应用场景

  • 手套箱内部露点监测管控

  • 干燥机露点在线检测

  • 热处理炉保护气氛水分管理

  • 洁净室、干燥房露点监控

  • 各类工业气体纯度管理

  • 天然气水分监测

  • 半导体制造工艺

  • 有机 EL 器件生产



 技术原理

TK-100 搭载高性能陶瓷传感器,传感器特性参数预存储于变送器内部,自带传感器温度补偿算法,将传感器信号线性换算输出露点数值。传感器支持互换,更换传感器无需重新标定,维护便捷。

🧪 采样安装方案

采样方式灵活简单:

  1. 直接安装在管道或被测环境中进行测量;

  2. 支持旁路采样方案,可搭配过滤器、传感器基座、流量计组成旁路测量回路;

  3. 过滤器、流量计等采样配件可选购成套「启动套件」。

📋 tekhne 全系气体测量仪器选型

一、露点 / 水分测量系列

  1. TK-100 氧化铝静电容量式露点仪适用于 ppb~1ppm 超微量水分管控工艺,测量露点可达 - 100℃,半导体、超高纯气体场景用

  2. TE-660 高分子型露点仪适用于 ppm 级微量水分检测,检测露点 - 60℃。

  3. MBW 镜面冷却式(镜面法)露点基准器核心工艺校准标准器,量程:-95℃ ~ +99℃dp。

  4. EE060 简易温湿度计洁净室相对湿度等级监测场景。

  5. EE33 温湿度计需维持固定含水量工艺,高温高湿、防结露工况。

二、氧浓度分析仪系列

  1. 2001LC 伽伐尼电池式氧浓度计:可检测 1ppm 以下微量氧,氢气置换除氧工艺专用

  2. Model4100 氧化锆式氧浓度计:无氢气环境,ppb 级微量氧气检测

三、风速计

洁净室、生产设备内部气体流场监测,支持微风测量。

🧩 半导体行业应用背景

半导体封装后段工序:

  1. 晶圆切割 (Dicing):划片机将整片晶圆切割为独立芯片

  2. 键合 (Bonding):焊接芯片引脚,实现电气连通

  3. 塑封 (Molding):树脂 / 陶瓷封装,隔绝污染物。水汽杂质会直接缩短半导体器件寿命,露点仪用于该环节水汽管控

  4. 成品检测,完成生产

洁净室原理:保持室内正压,阻挡外部含尘空气侵入;按照 ISO 标准,以每立方米≥0.1μm 颗粒物数量划分 1~9 级洁净等级。tekhne 自有 Class5 洁净棚。半导体生产工艺对颗粒、水分、氧气等杂质管控严苛,露点仪、温湿度计、氧分析仪、风速计被广泛应用于制造、输送、检测全流程。


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