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更新时间：2026-01-24 
浏览次数：2SENA「Superbeam」高强度照明灯 8 大主力型号 90 秒速辨
—— 350LSFI / SELONE N / SEL ONE / 185LE / 185LE-AL / 185FI / 370TFI / 370TFIR
| 型号 | 光源/功率 | 峰值照度\* | 主要波长 | 出光形态 | 典型场景 | 冷却 | 寿命/维护 | 1 秒记忆点 |
| -------- | --------------- | ----------- | ------------------ - | ------------ | ------------------------- | ------- | ------------------- | ----------------- |
| 350LSFI | 脉冲氙灯 350 W | ≈15×10⁶ lx | 420-700 nm 白光 | 12°聚光（30°可选） | 晶圆宏观闪拍、Reticle 颗粒、Bump 开裂 | 风冷+热管 | 1×10⁹ 闪、灯管 1 年换 1 次 | “闪光灯"级瞬间 15 Mlx |
| SELONE N | 高密度 LED 120 W | ≈3.8×10⁶ lx | 八通道 405-740 nm 独立可调 | 24°（可扩散） | 套刻对准、E-beam 预对、3D NAND 预检 | 自然/水冷 | 50 000 h L70 | 冷光+10 kHz 频闪 |
| SEL ONE | 广角 LED 60 W | ≈1.2×10⁶ lx | 3000-6500 K 四通道混色 | 160°超广角 | Fan-Out 深腔、MEMS 槽、大面积外观 | 自然散热 | 50 000 h L70 | 12 mm 超薄，无阴影 |
| 185LE | 卤素 185 W | ≈4.5×10⁶ lx | 3400 K 连续白光 | 15°（可换扩散/光纤） | 传统 Overlay、CD-SEM 前预检 | 风冷/水冷 | 3 000 h | 经典卤素，性价比高 |
| 185LE-AL | 卤素 185 W + 铝反射杯 | ≈5.2×10⁶ lx | 3400 K | 8°聚光 | 长 WD（150-200 mm）宏观检查 | 风冷 | 3 000 h | 185LE 的“远射版" |
| 185FI | 卤素 185 W + 液芯光纤 | ≈3.5×10⁶ lx | 3400 K | Φ8 mm 光纤出口 | 机械手末端、腔体内照明 | 风冷 | 3 000 h | 弯曲半径 50 mm 柔性导入 |
| 370TFI | 短弧卤素 370 W | ≈8×10⁶ lx | 3500 K | 30°/45°可调 | 8-12″ 晶圆全幅宏观、背面检查 | 强制风冷+热管 | 2 000 h，双灯冗余 | 大面幅“双灯热插拔" |
| 370TFIR | 370TFI + 环形导光棒 | ≈6×10⁶ lx | 3500 K | 360°环形 + 顶斜射 | 金线、焊盘、BGA 外观 AOI | 强制风冷 | 2 000 h | 370TFI 的“环形版"，无阴影 |
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