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日本irs 半导体过程温度监控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA特征1.原位、非接触式过程温度监测2.实时发射率和温度测量(同一测量点)3.实现高灵敏度和宽动态范围4.支持高采样率(~3kHz)5.接口丰富6.ETA和DeLTA配合使用可自动输入发射率
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日本irs 半导体过程温度监控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接触式过程温度监测
2.实时发射率和温度测量(同一测量点)
3.实现高灵敏度和宽动态范围
4.支持高采样率(~3kHz)
5.接口丰富
6.ETA和DeLTA配合使用可自动输入发射率
目的
1.RTP流程
2.物理气相沉积工艺
3.CVD工艺
4.蚀刻工艺
5.MOCVD工艺等
我们的实时发射率校正型半导体工艺温度监控器可以实时测量和校正目标晶圆的发射率,这在以前是不可能的,因此无论晶圆薄膜的类型如何,都可以实现精确的温度测量。
日本irs 半导体过程温度监控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接触式过程温度监测
2.实时发射率和温度测量(同一测量点)
3.实现高灵敏度和宽动态范围
4.支持高采样率(~3kHz)
5.接口丰富
6.ETA和DeLTA配合使用可自动输入发射率
目的
1.RTP流程
2.物理气相沉积工艺
3.CVD工艺
4.蚀刻工艺
5.MOCVD工艺等
我们的实时发射率校正型半导体工艺温度监控器可以实时测量和校正目标晶圆的发射率,这在以前是不可能的,因此无论晶圆薄膜的类型如何,都可以实现精确的温度测量。
公司简介
深圳九州工业品有限公司,坐落于深圳市,是一
家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子
产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸
易、经营进出口等业务。搭建工业品供应链,采
用与 MRO分销商结盟的方式,把零散采购订单集
中处理,流程简化,提供一站式供应服务。在美
国、德国、日本、韩国、中国台湾建专业国际采
购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各
类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与
厂家建立快捷、有效的沟通,和众多国外生产厂
家建立了长久合作伙伴关系。
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