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日本kohzu 真空兼容 X 定位平台 MVXA05A-R1021.真空兼容自动X平台,采用精密交叉滚柱导轨。2.进给方式采用高分辨率磨削螺杆。3.采用真空对应5相步进电机。
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品牌 | 其他品牌 | 产地 | 进口 |
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日本kohzu 真空兼容 X 定位平台 MVXA05A-R102
注释/特点
1.真空兼容自动X平台,采用精密交叉滚柱导轨。
2.进给方式采用高分辨率磨削螺杆。
3.采用真空对应5相步进电机。
机械规格
模型 MVXA05A-R102
桌面 50毫米×50毫米
指导方法 精密交叉滚子导轨
移动范围 ±7.5毫米
饲养方法 接地螺丝,导程0.5mm
分辨率全/半 1μm/0.5μm
分辨率 微步(1/20 格) 0.05μm
最大速度 2.5毫米/秒:半5kpps
累计导程误差 ≤6μm/15mm
重复定位精度 ≤±0.5μm
失去运动 ≤1μm
水平真直度 ≤1μm/15mm
垂直真直度 ≤1μm/15mm
反弹 ≤1μm
力矩刚度 0.31 弧秒/N・cm
水平承载能力 49N(5公斤力)
材质 铝合金
自重 0.66公斤
日本kohzu 真空兼容 X 定位平台 MVXA05A-R102
注释/特点
1.真空兼容自动X平台,采用精密交叉滚柱导轨。
2.进给方式采用高分辨率磨削螺杆。
3.采用真空对应5相步进电机。
机械规格
模型 MVXA05A-R102
桌面 50毫米×50毫米
指导方法 精密交叉滚子导轨
移动范围 ±7.5毫米
饲养方法 接地螺丝,导程0.5mm
分辨率全/半 1μm/0.5μm
分辨率 微步(1/20 格) 0.05μm
最大速度 2.5毫米/秒:半5kpps
累计导程误差 ≤6μm/15mm
重复定位精度 ≤±0.5μm
失去运动 ≤1μm
水平真直度 ≤1μm/15mm
垂直真直度 ≤1μm/15mm
反弹 ≤1μm
力矩刚度 0.31 弧秒/N・cm
水平承载能力 49N(5公斤力)
材质 铝合金
自重 0.66公斤