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日本kohzu 真空兼容 X 定位平台

日本kohzu 真空兼容 X 定位平台 MVXA05A-R102
1.真空兼容自动X平台,采用精密交叉滚柱导轨。
2.进给方式采用高分辨率磨削螺杆。
3.采用真空对应5相步进电机。

  • 产品型号:MVXA05A-R102
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-10
  • 访  问  量:77
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品牌其他品牌产地进口

日本kohzu 真空兼容 X 定位平台 MVXA05A-R102

注释/特点

1.真空兼容自动X平台,采用精密交叉滚柱导轨。

2.进给方式采用高分辨率磨削螺杆。

3.采用真空对应5相步进电机。

机械规格

模型  MVXA05A-R102

桌面  50毫米×50毫米

指导方法  精密交叉滚子导轨

移动范围  ±7.5毫米

饲养方法  接地螺丝,导程0.5mm

分辨率全/半  1μm/0.5μm

分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

累计导程误差  ≤6μm/15mm

重复定位精度  ≤±0.5μm

失去运动  ≤1μm

水平真直度  ≤1μm/15mm

垂直真直度  ≤1μm/15mm

反弹  ≤1μm

力矩刚度  0.31 弧秒/N・cm

水平承载能力  49N(5公斤力)

材质  铝合金

自重  0.66公斤

日本kohzu 真空兼容 X 定位平台 MVXA05A-R102

注释/特点

1.真空兼容自动X平台,采用精密交叉滚柱导轨。

2.进给方式采用高分辨率磨削螺杆。

3.采用真空对应5相步进电机。

机械规格

模型  MVXA05A-R102

桌面  50毫米×50毫米

指导方法  精密交叉滚子导轨

移动范围  ±7.5毫米

饲养方法  接地螺丝,导程0.5mm

分辨率全/半  1μm/0.5μm

分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

累计导程误差  ≤6μm/15mm

重复定位精度  ≤±0.5μm

失去运动  ≤1μm

水平真直度  ≤1μm/15mm

垂直真直度  ≤1μm/15mm

反弹  ≤1μm

力矩刚度  0.31 弧秒/N・cm

水平承载能力  49N(5公斤力)

材质  铝合金

自重  0.66公斤



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