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日本samco紫外线臭氧清洗机

日本samco紫外线臭氧清洗机 UV-1
概述:
该装置是一种UV臭氧清洗机,可以对各种半导体工艺进行干燥处理。可以进行有机物去除和表面改性,例如光刻胶灰化以及硅和蓝宝石晶圆清洗。配备紫外线灯、臭氧发生器和加热台,紫外线照射、臭氧和热量之间的相互作用可以实现高效的清洁和表面改性,而不会对基材造成电气损坏。

  • 产品型号:UV-1
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-09-04
  • 访  问  量:108
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品牌其他品牌产地进口

日本samco紫外线臭氧清洗机 UV-1

概述:

该装置是一种UV臭氧清洗机,可以对各种半导体工艺进行干燥处理。可以进行有机物去除和表面改性,例如光刻胶灰化以及硅和蓝宝石晶圆清洗。配备紫外线灯、臭氧发生器和加热台,紫外线照射、臭氧和热量之间的相互作用可以实现高效的清洁和表面改性,而不会对基材造成电气损坏。

特征:

-由于同时使用紫外线 (UV)、高浓度臭氧 (O₃) 和载物台加热器的热量,因此可以实现高效清洁。

-离子或电子不会对元件造成损坏。

-由于配备了使用非贵金属催化剂的臭氧分解器,因此不需要臭氧处理设备。

-由于大气压处理,不需要真空系统。

日本samco紫外线臭氧清洗机 UV-1

概述:

该装置是一种UV臭氧清洗机,可以对各种半导体工艺进行干燥处理。可以进行有机物去除和表面改性,例如光刻胶灰化以及硅和蓝宝石晶圆清洗。配备紫外线灯、臭氧发生器和加热台,紫外线照射、臭氧和热量之间的相互作用可以实现高效的清洁和表面改性,而不会对基材造成电气损坏。

特征:

-由于同时使用紫外线 (UV)、高浓度臭氧 (O₃) 和载物台加热器的热量,因此可以实现高效清洁。

-离子或电子不会对元件造成损坏。

-由于配备了使用非贵金属催化剂的臭氧分解器,因此不需要臭氧处理设备。

-由于大气压处理,不需要真空系统。

日本samco紫外线臭氧清洗机


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