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日本yako-sangyo 半导体气体扩散器

日本yako-sangyo 半导体气体扩散器SUS316L
气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。
・元件部分SUS316L
・也可用于高温应用。
・尺寸紧凑,可靠性高,可承受冲击和振动。

  • 产品型号:SUS316L
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-08-30
  • 访  问  量:126
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日本yako-sangyo  半导体气体扩散器SUS316L

气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。

 ・元件部分SUS316L

 ・也可用于高温应用。

 ・尺寸紧凑,可靠性高,可承受冲击和振动。

气体扩散器概述

1.流量范围广,从 6 到 300 SLPM。

2.与高纯度半导体气体兼容。

3.3 纳米颗粒过滤功能可保持高流动效率,同时最大限度地减少压降。

4.5Ra 电解抛光表面可防止内部污染。

5.为了满足半导体工艺标准,我们在用去离子水清洗后用高温氮气进行烘烤。

日本yako-sangyo  半导体气体扩散器SUS316L

气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。

 ・元件部分SUS316L

 ・也可用于高温应用。

 ・尺寸紧凑,可靠性高,可承受冲击和振动。

气体扩散器概述

1.流量范围广,从 6 到 300 SLPM。

2.与高纯度半导体气体兼容。

3.3 纳米颗粒过滤功能可保持高流动效率,同时最大限度地减少压降。

4.5Ra 电解抛光表面可防止内部污染。

5.为了满足半导体工艺标准,我们在用去离子水清洗后用高温氮气进行烘烤。

日本yako-sangyo  半导体气体扩散器


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