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日本horiba光纤型化学药液浓度计 CS-600F CS-600F 提供适合生产的更高级功能,如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力,减少停机时间的稳定运行,以及提高空间生产率的紧凑尺寸,以满足半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。
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日本horiba光纤型化学药液浓度计 CS-600F
CS-600F 提供适合生产的更高级功能,如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力,减少停机时间的稳定运行,以及提高空间生产率的紧凑尺寸,以满足半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。
概要:
1.尺寸更小,布局更灵活
CS-600F 浓度计尺寸紧凑,与成熟型号(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,体积减少 40%,样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。光源单元和浓度计主机可以远程单独安装,支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。
2.高温化学溶液(20 至 80℃)的高稳定性在线测量
新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液,这是湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F 稳定性高,实现了更有效和准确的化学药液管理。
日本horiba光纤型化学药液浓度计 CS-600F
CS-600F 提供适合生产的更高级功能,如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力,减少停机时间的稳定运行,以及提高空间生产率的紧凑尺寸,以满足半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。
概要:
1.尺寸更小,布局更灵活
CS-600F 浓度计尺寸紧凑,与成熟型号(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,体积减少 40%,样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。光源单元和浓度计主机可以远程单独安装,支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。
2.高温化学溶液(20 至 80℃)的高稳定性在线测量
新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液,这是湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F 稳定性高,实现了更有效和准确的化学药液管理。