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otsukael 高灵敏度示差折光仪 钨丝灯 光源 紫外光谱仪

otsukael 高灵敏度示差折光仪 钨丝灯 光源DRM-3000的介绍

通过注射器方法可以很容易地进行样品注入。
数据处理很容易,因为控制和数据采集是从个人计算机进行的。
低噪声、高稳定性和可重复测量是可能的。

  • 产品型号:DRM-3000
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-14
  • 访  问  量:444
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品牌其他品牌产地国产

otsukael 高灵敏度示差折光仪 钨丝灯 光源DRM-3000的介绍

otsukael 高灵敏度示差折光仪 钨丝灯 光源DRM-3000的介绍



  • 通过注射器方法可以很容易地进行样品注入。

  • 数据处理很容易,因为控制和数据采集是从个人计算机进行的。

  • 低噪声、高稳定性和可重复测量是可能的。

应用实例
  • 通过静态光散射测定重均分子量的 dn/dc 测量

  • 表面活性剂等的胶束临界浓度(c.m.c)测量

  • 高分子吸附量的测定

  • 高分子共聚物的成分分析

  • 脂质体相变温度测量等




除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外,它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外,还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。



特征
  • 可在紫外-可见(300 至 800 nm)波长范围内测量椭圆参数

  • 能够分析纳米级多层薄膜的膜厚

  • 通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱

  • 支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析

  • 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性


测量项目
  • 椭圆参数(tanψ,cosΔ)测量

  • 光学常数(n:折射率,k:消光系数)分析

  • 膜厚分析


测量对象
  • 半導体ウェーハ
    ゲート酸化薄膜,窒化膜
    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
    レジストの光学定数(波長分散)

  • 化合物半導体
    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜

  • 光学薄膜
    TiO2,SiO2,反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価

光源 钨丝灯
探测器 光电二极管阵列
测量波长 633 nm(带干涉滤光片)
样品池 流通池容量 8 μL(注射器法)
温度范围 10至50°(无结露)
 恒温水循环系统
测量范围 0 至 ±4× 10 -3Δn
噪音水平 2×10 -7 Δn(25℃,蒸馏水)
基础稳定性 2×10 -6 Δn/h(25℃,蒸馏水)
电源 AC100V±10V, 150VA (最大)
尺寸(WDH) 260×400×165mm
重量 约13公斤


otsukael静态光散射光度计 积分光度计SLS-6500HL的介绍



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