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otsukael积分光度计

otsukael积分光度计除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外,它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外,还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。

  • 产品型号:SLS-6500HL
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-21
  • 访  问  量:198
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品牌其他品牌产地国产

otsukael静态光散射光度计 积分光度计SLS-6500HL的介绍

除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外,它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外,还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。

特征:
  • 可在紫外-可见(300 至 800 nm)波长范围内测量椭圆参数

  • 能够分析纳米级多层薄膜的膜厚

  • 通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱

  • 支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析

  • 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性

 

测量项目
  • 椭圆参数(tanψ,cosΔ)测量

  • 光学常数(n:折射率,k:消光系数)分析

  • 膜厚分析

 

测量对象
  • 半導体ウェーハ
    ゲート酸化薄膜,窒化膜
    SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
    レジストの光学定数(波長分散)

  • 化合物半導体
    AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜

  • 光学薄膜
    TiO2,SiO2,反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価

 

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