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ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节 离子溅射仪

ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节PSE-150C
将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。

  • 产品型号：PSE-150C
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2023-04-11
  • 访  问  量：379
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品牌其他品牌产地国产

ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节PSE-150C

ulvac-kiko蒸发电源 控制器 温度调节PSE-150C



将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。

适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。


特点

  • 玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

  • 通过追加蒸发电源和电极，可同时蒸发或多层蒸发。

  • 更改为EB规格，可成膜高熔点的材料。

  • 蒸发设备带有脚轮，移动更为容易。

  • 带有调节器，可确保设置的安全性。

规格

型式VPC-1100
真空性能极限压力4.0×10-４Pa
1.3×10-４Pa（液体氮气使用时）
排气时间4.0×10-３Pa/10min
10-４Pa台/10min（液体氮气使用时）
真空槽真空槽玻璃钟罩（内径Φ390mm×高350mm)
馈通圈20端口(側面14/底面6)
基板推荐尺寸・最大尺寸□50mm ・ □220mm（Max）
电源系统蒸发电极构成3点式
蒸发电源・数量SEREM PSE-150C・1 式
0～10V 150A（Max)
排气系统主泵油扩散泵（水冷）　1100L/sec
液体氮气捕集器有
補助泵油回转泵　200L/min、2台
油雾捕集器选项
操作系统主阀蝶阀
補助阀三通阀
自动泄露阀选项
操作手动
控制系统皮拉尼真空计GP-1G
电离真空计选项
设置最大尺寸　　本体1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
　　　　　　电源设备本体收纳








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