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ulvac-kiko溅射设备 主泵 油雾捕集器 离子溅射仪

ulvac-kiko溅射设备 主泵 油雾捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
将架台上的油扩散泵,油回转泵,皮拉尼真空计,阀门配管,电气系统,压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的,配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。

  • 产品型号:VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-11
  • 访  问  量:221
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产品详情
品牌其他品牌产地国产

ulvac-kiko溅射设备 主泵 油雾捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

ulvac-kiko溅射设备 主泵 油雾捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)



将架台上的油扩散泵,油回转泵,皮拉尼真空计,阀门配管,电气系统,压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的,配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。

适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。


特点

  • 玻璃钟罩更容易看到内部,有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。

  • 通过追加蒸发电源和电极,可同时蒸发或多层蒸发。

  • 更改为EB规格,可成膜高熔点的材料。

  • 蒸发设备带有脚轮,移动更为容易。

  • 带有调节器,可确保设置的安全性。

规格

型式VPC-1100
真空性能极限压力4.0×10-4Pa
1.3×10-4Pa(液体氮气使用时)
排气时间4.0×10-3Pa/10min
10-4Pa台/10min(液体氮气使用时)
真空槽真空槽玻璃钟罩(内径Φ390mm×高350mm)
馈通圈20端口(側面14/底面6)
基板推荐尺寸・最大尺寸□50mm ・ □220mm(Max)
电源系统蒸发电极构成3点式
蒸发电源・数量SEREM PSE-150C・1 式
0~10V 150A(Max)
排气系统主泵油扩散泵(水冷) 1100L/sec
液体氮气捕集器
補助泵油回转泵 200L/min、2台
油雾捕集器选项
操作系统主阀蝶阀
補助阀三通阀
自动泄露阀选项
操作手动
控制系统皮拉尼真空计GP-1G
电离真空计选项
设置最大尺寸  本体1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H)
      电源设备本体收纳







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