服务热线：15766191432产品到哪里，服务到哪里 !
products category
Related articles
2023-04-13 h-repic 光纤光导光源 LED光源） LED Luminar Ace LA-HDF7010RL的性能
2023-09-21 日东精工（原三菱化学）HIRESTA-UX 高性能体积/表面阻抗率计 MCP-HT800
2024-03-12 2025-10-28 2025-07-16 产品中心/ products
ulvac-kiko真空泵 螺杆型干泵 泵 MS120A/MS600A通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。采用ULVAC独设计的转子轴，实现高性能的排粉。从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
产品型号：MS120A/MS600A厂商性质：经销商更新时间：2023-04-11访 问 量：809
立即咨询
联系电话：
| 品牌 | 其他品牌 | 性能 | 耐腐蚀 |
|---|---|---|---|
| 材质 | 其他 | 驱动方式 | 其他 |
| 流量 | 01m³/h |
ulvac-kiko真空泵 螺杆型干泵 泵 MS120A/MS600A
ulvac-kiko真空泵 螺杆型干泵 泵 MS120A/MS600A
MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
采用ULVAC特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排气速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消费电力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸气处理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸气口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus | |||
您的位置：
在线咨询
返回顶部