tekhne TK-100 热处理炉保护气氛露点计用途介绍

更新时间：2026-09-20

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在金属热处理、粉末冶金、半导体退火等工艺中，热处理炉内保护气氛的水汽含量，直接决定工件、薄膜的加工品质。炉内微量水汽极易造成工件氧化、脱碳、薄膜表面缺陷，引发产品报废。日本 tekhne（テクネ計測）TK-100 在线露点计，可实现炉内保护气氛超低露点持续监测，是热处理工艺气氛管控的核心仪表。

品牌与产品概述

tekhne 拥有 40 年以上水分管理、露点测量仪器研发制造经验。TK-100 静电容量式露点计，整套含变送器、显示监视器、传感器电缆，开箱即可搭建在线露点测量系统。整机日本本土研发、制造与校准，测量数据可溯源至国家标准，满足热处理工厂质量体系审核与工艺追溯需求。

核心参数

热处理工艺常使用氮气、氩气等惰性气体作为保护气氛，防止工件高温氧化。TK-100 可安装在炉体出气口、气氛循环管路，24 小时连续在线监测保护气露点。一旦气氛混入水汽，仪表快速检出，及时预警，避免高温下工件发生氧化、变色、脱碳等不良缺陷。

半导体晶圆退火、粉末冶金烧结等精密热处理工序，对气氛纯净度要求高。水汽会破坏薄膜晶体结构，造成烧结件孔隙、表面瑕疵。TK-100 实时监控炉内气氛，稳定维持工艺所需超低露点环境，保障产品一致性，提升良品率。

炉内保护气体由外部供气系统输送，气体纯化装置老化、管路泄漏都会带入水分。TK-100 可前置安装在供气管道，检测进入热处理炉之前的气体露点，从气源端把控气体品质，提前发现干燥机、管路泄漏故障，避免不合格气体送入炉腔造成批量工件损失。

仪表支持标准信号输出，能够接入 PLC、中控系统，自动存储露点历史数据，露点超标时触发报警。方便工厂完成工艺参数存档、质量追溯，满足精密热处理行业的体系审核要求。

除热处理炉保护气氛监测外，TK-100 露点计还可用于手套箱、洁净室干燥房、高纯气体、有机 EL 制造、干燥机水分监测等超低水分管控场景。产品交期短，配套的售后技术支持。

tekhne TK-100 在线露点计凭借 - 100℃dp 超低测量量程、稳定的检测性能与便捷维护特性，有效监控热处理炉保护气氛中的微量水汽，规避氧化、脱碳等工艺风险，是精密热处理行业保护气氛露点监测的优选仪表。

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