tekhne TK-100 在线露点计｜洁净室、干燥房专用露点监测仪表

更新时间：2026-09-20

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半导体、精密元器件、有机 EL 等制造行业，洁净室与干燥房不只是控制粉尘颗粒，环境水汽是影响产品良率的隐形杀手。空气中微量水分会造成晶圆氧化、元器件引脚锈蚀、光敏材料失效，因此需要持续稳定的在线露点监测。日本 tekhne（テクネ計測）TK-100 在线露点计，专为洁净室、干燥房低湿环境设计，实现全天候露点在线管控

品牌简介

tekhne 拥有 40 余年水分管理、露点测量仪器研发制造经验，TK-100 作为静电容量式露点变送器，整套包含变送器、显示监视器、传感器电缆，到货即可快速搭建露点监测系统。仪器日本本土研发、制造与校准，测量数据可溯源至国家标准，满足工厂内审、客户审核等质量体系要求。

产品核心参数

测量量程：-100 ~ +20℃dp，可检测 ppb 级超微量水分
测量精度：±2℃dp，响应速度快，快速捕捉湿度波动
传感原理：陶瓷静电容量式传感，内置温度补偿
维护优势：传感器可互换，更换传感器无需重新标定，减少停机时间

在洁净室、干燥房的主要用途

1. 洁净室环境露点实时监控

半导体、精密器件洁净室遵循 ISO 洁净等级标准，除尘埃管控外，露点是关键环境指标。TK-100 可布置在洁净室回风口、送风管道，连续在线监测环境露点，联动除湿空调系统，稳定控制车间水汽，避免水汽吸附在晶圆、光学器件表面，防止颗粒团聚污染产品。tekhne 自有 Class5 洁净棚，充分理解洁净车间的使用要求。

2. 干燥房低湿环境持续监测

芯片封装、元器件存储、材料预处理干燥房，需要长期维持极低露点环境。TK-10024 小时在线监测干燥房内部气氛，一旦露点超标即可触发报警，及时发现除湿设备故障、环境漏湿等问题，保障待加工物料、半成品不被水汽侵蚀。

3. 配套工艺气体管路露点检测

洁净车间内输送超高纯氮气、氩气等保护气体，TK-100 可安装在气体管道，监测供气露点，确保进入洁净腔体的工艺气体水分达标，从气源端阻断水汽污染。

4. 数据采集与工艺追溯

仪表支持标准信号输出，可接入 PLC、中控系统，自动记录露点历史数据，实现超限报警，满足精密制造业工艺追溯、质量记录的管理要求。