SONOSYS 13407-071+喷嘴13792-004 2+3MHz双频在掩膜清洗用途介绍

更新时间：2026-02-12

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德国 SONOSYS® 双喷嘴兆声波清洗系统，专为单晶圆、掩膜、LCD 基板及 MEMS 等精密部件设计。采用多频率组合技术（1MHz+2MHz/1MHz+3MHz/2MHz+3MHz/2MHz+4MHz），每束 35W 能量聚焦于 2×4mm 微小区域，实现高效非接触式清洗，避免机械损伤，洁净度可达优良制造严苛标准。

【产品参数】

▶ 模块化兆声波发生器

电气参数：输出功率 70W（MLM 1+MLM 2），调节范围 20%-100%；频率覆盖 950kHz-1.05MHz、1.95MHz-2.05MHz、2.95MHz-3.05MHz、3.95MHz-4.05MHz；电源 230VAC 50-60Hz。

机械参数：19 英寸机架 3/4U 设计，外形尺寸 28 HP（165×185×329mm），重量约 5.2kg。

运行条件：环境温度 10℃-40℃，湿度禁止凝结水。

▶ 兆声波双喷嘴

电气参数：高压输入 2×35W，适配 1/2/3/4MHz 频率；换能器采用特殊 PZT 压电陶瓷；3 米屏蔽高压电缆（Φ4.5mm PTFE 材质），喷嘴与匹配盒电缆长 20cm（ 50cm）。

机械参数：外尺寸 74×79.8×37mm，重量约 600g；液体接口 2×1/8" NPT，最小流量 2×1.0L/min，适用温度 20℃-60℃；喷嘴距待清洗物距离 5-20mm 可调。

【适用场景】

✅ 半导体行业：单晶圆表面微小颗粒、有机物残留清洗

✅ 光刻工艺：掩膜版高精度去污，保障图案转移精度

✅ 显示面板：LCD/OLED 基板洁净度提升，优化显示效果

✅ 微机电系统：MEMS 器件微小结构内部完整清洁

【订货信息】：

【品牌保障】

德国 SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH 原厂出品，专注兆声波清洗技术研发，品质可靠。支持技术咨询与定制化方案，提供完善售后服务。

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SONOSYS 13407-071+喷嘴13792-004 2+3MHz双频在掩膜清洗 用途介绍

SONOSYS 13407-071+喷嘴13792-004 2+3MHz双频在掩膜清洗用途介绍