Technomate 高压泵FSBL-50 半导体清洗中一把手

更新时间：2026-01-26

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Technomate FSBL-50 是一款空气驱动、柱塞式高压液体泵，专为“高纯、防爆、小流量高扬程"场景设计。综合现有资料，它在半导体行业的定位可以概括为“IPA 干燥与溶剂剥离环节的‘稳压心脏’"，典型应用如下：

Spin-Rinse-Dry（SRD）后的 IPA 干燥

压力 0.8–1.2 MPa、流量 5–15 L/min 可调，可将 0.2 µm 过滤后的 IPA 雾化至 15 µm 液滴，配合 Marangoni 效应 5 s 内去除晶圆表面水膜，干燥后粗糙度 Ra < 0.3 Å，满足 EUV 掩膜基板要求。
空气驱动无电火花，可直接放在 Class 1000 以内洁净区及 Zone-2 防爆隔间，解决 IPA 易燃痛点

光刻胶剥离（Strip）与溶剂输送

泵头 316L + PTFE/PFA 内衬，颗粒析出 < 1 ea/mL，可连续输送 90 °C NMP、PGMEA 或羟胺类 OPA，金属离子增量 < 5×10¹⁰ at/cm²。
0.8–1.2 MPa 出口压力足以推动溶剂通过 0.08 mm 喷嘴，形成 120 m/s 射流，30 s 内剥离 3 µm 厚负胶，线宽损失 < 0.5 nm

CMP 后清洗与点-of-use 化学品增压

在 7 nm 以下节点，FSBL-50 作为“point-of-use"增压单元，把 0.5 MPa 管网 DIW 升至 1.0 MPa，供背面刷洗或二流体喷嘴使用，占地仅 220×350×350 mm，可嵌入单体清洗腔

设备尾气洗涤（Scrubber）

同样利用空气驱动防爆优势，将 1.0 MPa 纯水注入洗涤塔，吸收 HF、Cl₂、SiH₄ 等副产气体；耗气量 70 NL/min，一条 0.7 MPa CDA 主管可带 20 台泵，能耗仅为同级电动泵 1/8

技术亮点

落地案例

一句话总结：FSBL-50 用“气动防爆 + 高纯材质 + 稳压低脉动"三件套，把 IPA 干燥与溶剂剥离做成了一件“无火花、零颗粒、可嵌入"的标准化模块，是 7 nm 以下晶圆厂清洗线上超出性价比的 1 MPa 级高压动力源。

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