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更新时间：2026-01-14 
浏览次数：2YAMADA
一、一句话认识 YP 系列在 FAB 里，工程师用 SEM 看缺陷、用 AFM 看形貌，但发现问题的，往往是一束“好光"。山田光学（Yamada Optics）把“太阳级"显色、微米级匀斑、零紫外伤害做成两款晶圆专用检查灯：YP-250I（12 英寸）与 YP-150I（8 英寸）。开机 3 秒，即可让划痕、颗粒、CoO 雾斑、STI 色差、CMP 凹陷……在 300 mm 硅片上“一眼现形"。
二、型号速览
| 型号 | 有效光斑 | 推荐晶圆 | 照度 | 显指 Ra | 色温 | 寿命 | 功耗 |
| ------- | ------- | ------------ | ------------------- | ----- | ------- | -------- | ----- |
| YP-250I | φ250 mm | 12" (300 mm) | 50 000 lux @ 100 mm | 96 | 5 500 K | 50 000 h | 120 W |
| YP-150I | φ150 mm | 8" (200 mm) | 55 000 lux @ 100 mm | 96 | 5 500 K | 50 000 h | 80 W |
共同点：零 UV 输出，380 nm 以下强度 < 0.1 μW/cm²，避免光敏胶/Low-k 材料意外曝光无频闪驱动，手机拍摄无条纹，便于 AI 视觉复检调光 5–100 %，旋钮 + 脚踏双模式，方便明暗场切换桌面/悬臂/导轨三种安装，兼容任何 OEM 检查台三、核心光学技术复眼透镜阵列 + 菲涅耳混光板把 196 颗 CSP-LED 的点光源打成 99 % 均匀度（边缘-中心差 < 3 %），颗粒 0.2 μm 也能出现明显阴影。零紫外芯片 + 长通滤光片双重截止 380 nm，黄光区能量增强 15 %，既保护光刻胶，又让划痕边缘的散射对比度 +30 %。主动散热隧道铝挤 + 石墨烯导热垫，结温 < 65 ℃，晶圆表面温升 < 0.5 ℃，避免热膨胀导致误判。无影环设计环形出光面内凹 8°，操作者手指/镊子阴影被“自环"补光，真正做到“无影灯"级视野。
四、对比传统方案
| | 传统卤素 500 W | 白色 LED 面板 | YP-250I |
| --------------- | ---------- | ---------- | ------------ |
| 照度 | 45 000 lux | 30 000 lux | 50 000 lux |
| 显指 Ra | 90 | 80 | 96 |
| UV | 15 mW/cm² | 1 mW/cm² | < 0.1 μW/cm² |
| 表面温升 | 3–5 ℃ | 1–2 ℃ | < 0.5 ℃ |
| 年耗电（24 h×250 d | 3 000 kWh | 600 kWh | 216 kWh |
| 维护 | 每月换灯泡 | 一年衰减 15 % | 五年光衰 < 5 % |
五、场景实拍12 英寸 CMP 后划痕在 50 000 lux、Ra 96 灯光下，0.1 μm 深划痕出现明显白光散射，与周围镜面形成 30 % 灰度差，肉眼可见。8 英寸 Epitaxial 雾斑雾斑直径 2 mm，与普通颗粒不同，只有在 5 500 K 高显指环光下才能看到边缘彩虹纹，YP-150I 让缺陷检出率从 85 % 提到 99 %。CoO 薄膜 Coating 颗粒零紫外设计避免光敏胶意外曝光，工程师可边照边用镊子挑粒，无需关灯。六、安装方式A. 桌面立式自带阻尼铰链，0–45° 俯仰，适合单人抽检。B. 悬臂式铝合金磁吸悬臂，可 360° 旋转，兼容 KLA、Tokyo Seimitsu 复检台。C. 导轨嵌入厚度仅 28 mm，嵌入传送导轨下方，与机器人取放片无干涉，实现 100 % 在线外观检查。七、智能扩展脚踏调光：双手持镊时，用脚控 5–100 % 无级调光，避免手套污染旋钮。外部触发：24 V 光电传感器信号→灯自动点亮 5 s，与搬运机器人节拍同步。AI 视觉套件可选 5 MP 彩色相机 + 山田定制同轴环光接口，直接输出 4K 无损 RAW，用于深度学习颗粒分类。
七、智能扩展脚踏调光：双手持镊时，用脚控 5–100 % 无级调光，避免手套污染旋钮。外部触发：24 V 光电传感器信号→灯自动点亮 5 s，与搬运机器人节拍同步。AI 视觉套件可选 5 MP 彩色相机 + 山田定制同轴环光接口，直接输出 4K 无损 RAW，用于深度学习颗粒分类。八、使用与维护每日：无纺布 + 去离子水轻擦出光面，30 s 完成，无暗场残留水渍。每年：光衰检测 < 3 % 无需维护；LED 模组 50 000 h 寿命，相当于 24 h×5 年×250 d。校准：山田提供可追溯照度计现场标定，30 min 完成，出具 JCSS 报告，满足 ISO14644-1/2 要求。九、一句话总结YP-250I / YP-150I 用“阳光级"显色和零紫外安全，把 12 英寸与 8 英寸晶圆上的亚微米缺陷变成“一眼可见"。灯亮 3 秒，缺陷现形——这就是 FAB 里稳定可靠、也是低成本的一道质量防线。
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