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更新时间：2025-12-11 
浏览次数：6SunEnergy SKT系列紫外线/臭氧清洗改性装置：绿色精密清洗技术新——SKT1101N/SKT2001N/SKT2003N赋能环保高效生产在精密制造与绿色生产深度融合的当下，传统化学清洗工艺因高能耗、高污染、高成本等弊端，正面临严峻挑战。日本SunEnergy（日森特殊光源）公司推出的SKT系列紫外线/臭氧清洗改性装置，以纯物理光化学反应替代传统溶剂清洗，为半导体、光电、医疗等行业提供了高效、环保、低耗的表面处理解决方案。
技术原理：光化学氧化，绿色去污SKT系列采用双波长低压汞灯技术，利用184.9nm和253.7nm紫外光的协同作用，实现原子级精密清洗。其机理分为两步：
1.臭氧生成：184.9nm紫外线将氧气（O₂）激发为高活性臭氧（O₃）
2.氧化分解：253.7nm紫外线直接裂解有机污染物化学键，同时分解臭氧产生活性氧原子（O*），将表面有机物氧化为CO₂和H₂O等挥发性气体
整个过程无需化学溶剂、不产生废水废气排放，清洗后材料表面引入含氧官能团，亲水性显著提升，为后续镀膜、粘接、封装等工艺提供理想表面状态。
型号规格：覆盖多尺度批量生产需求SKT系列提供三种标准型号，满足不同产能与尺寸需求：
| 型号 | 有效照射面积 | 适用基板 | 典型产能 | 核心参数 |
| ------------ | ------ | ------------ | ------- | -------------------- |
| **SKT1101N** | □100mm | 4英寸晶圆、精密光学元件 | 300片/小时 | 灯管功率≥300W，寿命≥8000小时 |
| **SKT2001N** | □200mm | 8英寸晶圆、中小尺寸面板 | 150片/小时 | 照射强度≥80mW/cm²（平台处） |
| **SKT2003N** | □300mm | 12英寸晶圆、大尺寸基板 | 100片/小时 | 波长185nm+254nm双输出 |
所有型号均配备智能触控面板，支持1-99.99小时精确计时、照射高度20-100mm可调、灯管自动预热及联锁保护功能，确保工艺稳定性与操作安全性
环保优势：低能耗、高安全相比传统超声清洗、等离子清洗或溶剂擦拭工艺，SKT系列在环保层面表现1. 零化学污染：摒弃IPA、丙酮等有机溶剂，杜绝VOCs排放与危废处理难题2. 无废水产生：气态反应产物直接挥发，无需水处理系统3. 能耗降低70%：单灯功率仅300W，仅为等离子设备的1/5，且无需真空泵等高耗能辅助设备4. 臭氧零泄漏：内置臭氧分解装置与排风系统，排气臭氧浓度<0.1ppm5. 本质安全：门盖开启时灯管自动熄灭，UV屏蔽观察窗设计，杜绝光辐射风险
应用领域：赋能多行业绿色升级SKT系列已在以下领域实现规模化应用：半导体封装：引线框架清洗，芯片粘接强度提升30%以上显示制造：ITO玻璃与OCA光学胶贴合前处理，良率提升至99.5%光学器件：镜片、滤光片表面有机物去除，达原子级洁净度：微流控芯片亲水改性，生物相容性显著改善精密电子：PCB阻焊前处理，解决油墨针孔与剥离问题结语SunEnergy SKT系列以光化学技术为核心，将高效清洗与绿色生产结合，不仅帮助企业实现节能减排目标，更通过表面改性提升产品性能与良率，是精密制造行业迈向碳中和的理想选择。随着环保法规日趋严格，SKT系列为代表的绿色清洗技术必将成为产业升级的关键驱动力。
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