日本KOFLOC Kyoto PI质量流量控制器 ST-500系列仕样图

更新时间：2024-04-03

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日本KOFLOC Kyoto PI质量流量控制器 ST-500系列仕样图

3.仕様

（1）仕様

产品名称PI质量流量控制器

型式名 ST-500

流量(N2 換算) 100SCCM,300SCCM,500SCCM

1可持续土地管理、3可持续土地管理、5可持续土地管理、10可持续土地管理30 SLM

阀门操作常闭

最小制御流量 2%F.S.

流量精度 ※１ ≦±1.0%S.P.（10% - 100%）

≤±0.1%F.S.(2%-10%)

再現性 ≦±0.2%F.S.

応答時間 ≦1sec.

必要差圧 50 - 300kPa 200 - 300kPa

最大動作圧 300kPa(G)

耐圧 1MPa(G)

流量精度保証温度 15 - 40℃

工作温度·湿度5℃-50℃·0-80%RH(无结露)

储存温度·湿度0℃-60℃·0-80%RH(无结露)

外部泄漏速率≤1×10-11Pa·m3

/秒(他)

PI功能SV：5-100%时±3psi的压力变化，

超调：≦±2%F.S.，稳定时间(≦2%S.P.)：≦1秒。

可安装姿势没有指的定的(自由)

接ガス部材質 SUS316L、 PTFE、 Au、 Co-Ni 合金

密封材料SUS316L，Au

激励器系统电磁执行器

標準継手・面間寸法 1.125 W-Seal 92mm

6.35录像机124毫米

駆動電源 ※２ 11-25VDC (5VA max.)

数字接口DeviceNet™

製品重量約 1 kg

※1：校准气体(N2)及本公司基准设备测量的精度。

※2：请将本机连接(接地)到框架接地。

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