产品分类

products category

技术文章/ article

您的位置:首页  -  技术文章  -  日本KOFLOC Kyoto PI质量流量控制器 ST-500系列仕样图

日本KOFLOC Kyoto PI质量流量控制器 ST-500系列仕样图

更新时间:2024-04-03      浏览次数:46

日本KOFLOC Kyoto PI质量流量控制器 ST-500系列仕样图

image.png

image.png

3.仕様

(1)仕様

产品名称PI质量流量控制器

型式名 ST-500

流量(N2 換算) 100SCCM,300SCCM,500SCCM

1可持续土地管理、3可持续土地管理、5可持续土地管理、10可持续土地管理30 SLM

阀门操作常闭

最小制御流量 2%F.S.

流量精度 ※1 ≦±1.0%S.P.(10% - 100%)

≤±0.1%F.S.(2%-10%)

再現性 ≦±0.2%F.S.

応答時間 ≦1sec.

必要差圧 50 - 300kPa 200 - 300kPa

最大動作圧 300kPa(G)

耐圧 1MPa(G)

流量精度保証温度 15 - 40℃

工作温度·湿度5℃-50℃·0-80%RH(无结露)

储存温度·湿度0℃-60℃·0-80%RH(无结露)

外部泄漏速率≤1×10-11Pa·m3

/秒(他)

PI功能SV:5-100%时±3psi的压力变化,

超调:≦±2%F.S.,稳定时间(≦2%S.P.):≦1秒。

可安装姿势没有指的定的(自由)

接ガス部材質 SUS316L、 PTFE、 Au、 Co-Ni 合金

密封材料SUS316L,Au

激励器系统电磁执行器

標準継手・面間寸法 1.125 W-Seal 92mm

6.35录像机124毫米

駆動電源 ※2 11-25VDC (5VA max.)

数字接口DeviceNet™

製品重量 約 1 kg

※1:校准气体(N2)及本公司基准设备测量的精度。

※2:请将本机连接(接地)到框架接地。


版权所有©2024 深圳九州工业品有限公司 All Rights Reserved   备案号:粤ICP备2023038974号   sitemap.xml   技术支持:环保在线   管理登陆