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更新时间：2024-04-03 
浏览次数：178日本KOFLOPI型号 ST-500 系列质量流量控制器的介绍
PI…压力不敏感
可针对压力波动进行稳定的流量控制。
带隔膜式阀门的金属密封MFC ，
通过EP处理和氧化膜处理，
可兼容腐蚀性流体。
兼容DeviceNet通信
与 W 密封配件兼容
SP精度可实现高精度测量，
1秒内响应全流量控制范围
带有专用应用程序的多范围功能
现有型质量流量控制器在供给侧
通过对压力变动过敏反应，瞬间变大
由于流量紊乱等，当控制变得不稳定时
有这样的课题。
ST-500具有解决该问题PI功能
（PI…压力不敏感（压力不灵敏）
是新配备的质量流量控制器。
在流量传感器前段搭载有压力传感器，
将由此捕捉到压力变动与变动前的压力进行比较
并实时地对阀开度进行校正
由此，能够对压力变动进行稳定流量控制
是有可能的。
需要半导体制造装置等稳定性和准确性
适用于气体供给工艺。
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