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日本KOFLOPI型号 ST-500 系列质量流量控制器的介绍

更新时间:2024-04-03      浏览次数:65

日本KOFLOPI型号 ST-500 系列质量流量控制器的介绍

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■目标流体:气体 
■最大流量:气体 100SCCM~30SLM
■精度:±1%SP (10~100%FS)
    ±0.1%FS (2~10%FS)

  • PI…压力不敏感
    可针对压力波动进行稳定的流量控制。

  • 带隔膜式阀门的金属密封MFC ,
    通过EP处理和氧化膜处理,
    可兼容腐蚀性流体。

  • 兼容DeviceNet通信

  • 与 W 密封配件兼容

  • SP精度可实现高精度测量,
    1秒内响应全流量控制范围

  • 带有专用应用程序的多范围功能


现有型质量流量控制器在供给侧

通过对压力变动过敏反应,瞬间变大

由于流量紊乱等,当控制变得不稳定时

有这样的课题。

ST-500具有解决该问题PI功能

(PI…压力不敏感(压力不灵敏)

是新配备的质量流量控制器。


在流量传感器前段搭载有压力传感器,

将由此捕捉到压力变动与变动前的压力进行比较

并实时地对阀开度进行校正

由此,能够对压力变动进行稳定流量控制

是有可能的。

需要半导体制造装置等稳定性和准确性

适用于气体供给工艺。

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