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WONIK QnC 吸盘 (ESC) AW100H 热压粘合加热器Multi-Zone技术

更新时间:2024-03-19      浏览次数:47

WONIK QnC创立于1983年,是一家专门制造和供应生产半导体晶圆所使用的石英部件

和生产半导体及显示器所使用的陶瓷部件的复合材料零部件专业公司。

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特点与优势

  • 客户满意的最的佳的品质
    • ISO 9001, 14001, 27000, 45001

    • 拥有大型三维测量仪(4000x1600)和300mm Zygo干涉仪

  • 陶瓷零部件统一生产体系
    • 拥有原料, 材料, 加工等所有陶瓷生产设备及工艺

  • 功能性零部件制造
    • ESC, AlN Heater, pBN 高温 ESC, Pulse Heater, Wafer Table

    • 客户定制式产品 (设计模拟, 制作, 评估)


 吸盘 (ESC)

  • ESC

  • ESC

  • 通过 Hot press 烧结生产高品质陶瓷材料

  • ESC repair 技术

  • 超精密表面形状控制技术

ItemUnitAW100HAS250H
Color-Right grayBlack
Relative density%≥ 99.7≥ 99.0
Dielectric constant (1MHz)F/m10.511
Dielectric loss (1MHz)-2 X 10-32 X 10-3
Volume resistivityRTΩ•cm2 X 10161 X 1016
Bending strengthMPa≥ 500≥ 500
Vickers hardnessHV≥ 1800≥ 2100

热压粘合加热器

  • Pulse

  • Pulse

  • 设计并制造可以快速升温和冷却的热线

  • 通过控制结构制造高密度和高热导度的
    AlN陶瓷烧结体

  • 通过超精密加工技术实现高平坦度和高平行度

PropertiesSingle-ZoneMulti-Zone
Use Temperature (℃)>400℃>400℃
Heating Rate (℃/sec)20040
Cooling Rate (℃/sec)10010
Thermal Conductivity (W/m·K)200200
Uniformity (@400℃)<3℃<10℃
Size (mm)12, 16, 2250, 60, 70, 120





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