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brooksinstrument高温质量流量控制计

brooksinstrument高温质量流量控制计5850EMH / 5851EMH的介绍
5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了先进的性能,具有多种选择,允许大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。特点
高泄漏完整性(小

  • 产品型号:5850EMH / 5851EMH
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-21
  • 访  问  量:264
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产品详情
品牌其他品牌类型其他
测量范围12m³/h

brooksinstrument高温质量流量控制计5850EMH / 5851EMH的介绍

brooksinstrument高温质量流量控制计5850EMH / 5851EMH的介绍

5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了先进的性能,具有多种选择,允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

特点

  • 高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)

  • 宽流速范围(0.003 - 100 slpm)

  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢

  • 无磨粒

  • 氦泄漏检查端口

  • 常闭阀(可选常开阀)

  • 电致动阀复位

  • 低命令流量断流

  • TTL 兼容"关阀"功能

优势

  • 稳定、可靠的产品平台

  • 高流量,高达 100 lpm(N2 当量)

  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏

  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

  • 光纤制造——MCVD,OVD,AVD

  • 水汽流量控制

5850EMH5851EMH
流量范围-满量程容量3 sccm - 30 slm (N2 equivalent)10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS

重复性< ±0.25% of SP< ±0.25% SP
响应时间-常闭

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc



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