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shuwaind晶圆贴片机

立式平面磨床 SGM-8000 是一种可以轻松快速地高精度磨削难切削材料（蓝宝石、SiC、GaN 等）的设备。砂轮轴承与工件轴承垂直排列，各轴承旋转，砂轮轴承进给到工件轴承一侧进行磨削。此时，砂轮轴承往复摆动（新shuwaind晶圆贴片机KBM-100的介绍

  • 产品型号：KBM-100
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2023-04-20
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shuwaind晶圆贴片机KBM-100的介绍

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立式平面磨床 SGM-8000 是一种可以轻松快速地高精度磨削难切削材料（蓝宝石、SiC、GaN 等）的设备。砂轮轴承与工件轴承垂直排列，各轴承旋转，砂轮轴承进给到工件轴承一侧进行磨削。此时，砂轮轴承往复摆动（新机构），可将脆性材料基板磨削成薄片且损伤小。最大加工直径为Φ300，可批量加工，生产率高。

特点

  • 摇摆机构

  • 在砂轮轴承来回摆动的同时进行磨削。此时，磨削应力在横向上得到缓和，加工变质层变浅，可以进行损伤小的磨削，可以将基板加工得更薄。

  • 过载感应系统

  • 如果在磨削过程中施加超过设定值的载荷，进给会倒退，暂时释放磨石和工件上的应力，重新开始进给。该系统可防止工件承受强应力，从而实现磨削时损伤较小。

  • 间歇供料系统

  • 在重复进给和间隔的同时进行磨削。它去除间隔之间的切屑，冷却金刚石砂轮，降低磨削应力，从而可以轻柔地磨削工件。


  • 零接触系统

  • 该装置检测砂轮与工件接触的位置，并自动设定原点位置。

  • 振荡

  • 当磨削进行到目标尺寸值时，磨石在不超过设定值的范围内上下摆动。可以获得更高的平面度和均匀的表面粗糙度。

  • 自动测量系统

  • 工件厚度在加工过程中自动测量，剩余磨削量由设备根据该数据自行计算，并再次磨削。研磨可全自动完成。无需在设备外测量工件厚度，可减少工序人工。





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