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napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机

napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机WS-3000的介绍
可安装 4 种探头的探头更换机构无需为每个测量样品更换探头。
通过双模式高精度测量高达 1mm 的边缘
高速测量带来的成本优势
FOUP 装载口,兼容 GEM/SECS

  • 产品型号:WS-3000
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-15
  • 访  问  量:232
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产品详情
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napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机WS-3000的介绍

napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机WS-3000的介绍

产品特点

  • 可安装 4 种探头的探头更换机构无需为每个测量样品更换探头。

  • 通过双模式高精度测量高达 1mm 的边缘

  • 高速测量带来的成本优势

  • FOUP 装载口,兼容 GEM/SECS

测量规格

测量对象

  • 半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、SiC等)

  • 导电薄膜相关(金属、ITO等)

  • 扩散样品

  • 硅基外延、离子注入样品

  • 其他(*请联系我们)

测量尺寸

12英寸
(选项;200mm组合使用)

测量范围

[薄层电阻] 1m 至 10MΩ/sq

产品特点

  • 4探针半自动玻璃基板薄膜测量仪

  • XY轴机构台

  • 面内多点测量,均匀间距或随机间距设置选择,配备2-D/3-D绘图软件

测量规格

测量对象

  • 半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、SiC等)

  • 新材料/功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等)

  • 导电薄膜相关(金属、ITO等)

  • 扩散样品硅基薄膜(LTPS等)、IGZO

  • 硅基外延、离子注入样品

  • 化合物半导体(GaAs、Epi、GaN、Epi、InP、Ga等)

  • 其他(*请联系我们)

测量尺寸

最大300×300mm(可选;最大500×500mm)


测量范围

[电阻率(比电阻)] 1 m 至 200 Ω cm
[薄层电阻] 1 m 至 1,000 k Ω/sq(选项;高达 10 M Ω/sq

产品特点

  • 具有大电阻测量范围的 4 探头测量仪

  • 用于圆形/方形测量的测量模式可编程和映射软件

  • 自检功能、厚度/周边位置/温度校正功能(针对硅)

  • 根据电阻范围从 2 种类型的测试仪中选择

  • (RT-3000(S):宽测量范围,RT-3000(H):高电阻测量范围)

测量规格

测量对象

  • 半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、SiC等)

  • 新材料/功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等)

  • 导电薄膜相关(金属、ITO等)

  • 扩散样品

  • 硅薄膜(LTPS等)、IGZO

  • 硅基外延、离子注入样品

  • 其他(*请联系我们)

测量尺寸

~8 英寸或 ~156x156mm

・选项(用于大直径尺寸:型号 RG-3000):最大 12 英寸,最大 210 x 210 毫米


测量范围

①RT-3000(S);
[电阻率(电阻率)] 100μ~1MΩ・cm
[方块电阻] 1m~10MΩ/sq
②RT-3000(H);
[方块电阻] 10m~1GΩ/sq


产品特点

  • 4探针半自动玻璃基板薄膜测量仪

  • XY轴机构台

  • 面内多点测量,均匀间距或随机间距设置选择,配备2-D/3-D绘图软件




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