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osakavacuum磁力轴承式涡轮分子泵 控制器 传输数据

osakavacuum磁力轴承式涡轮分子泵 控制器 传输数据TG907M/TG1307M
操作数据、触地次数、型号信息等可保存在主机中 * 即使在检修期间更换控制器,也可以传输数据。

  • 产品型号:TG907M/TG1307M
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-11
  • 访  问  量:387
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材质其他驱动方式其他

osakavacuum磁力轴承式涡轮分子泵 控制器 传输数据TG907M/TG1307M

osakavacuum磁力轴承式涡轮分子泵 控制器 传输数据TG907M/TG1307M



新型磁力轴承式涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特点

 

  • 省电设计

  • 操作数据、触地次数、型号信息等可保存在主机中 * 即使在检修期间更换控制器,也可以传输数据。

  • 用法

  • 半导体制造设备  

  • FPD制造设备

  • 太阳能电池制造设备

  • 玻璃/透镜等光学零件加工

  • 胶片加工

  • 加速器/空间环境试验设备


■ 可在大气压力下连续运行
 打开时排气速度 800L/min

 

■ 可能吸入蒸气

 蒸汽处理量 500g/hr

 

■缩短排气时间
 保持恒定的排气速度直到到达近点

 

■ 风冷规格

用法


・小型实验用真空
load lock chamber抽真空、输送
分析、测量设备、吸附、输送

加速器排气
密封、密封
电子枪源、离子枪源排气
干燥
溅射沉积等PVD设备的辅助泵排气
小炉排气
 TMP等高真空泵

模型FR060D
抽速(L/min)最大限度1000
开放运营800
极限试验压力(Pa)一般来说1.0
气镇2.0
连接格式进气口 (西北) 40
排气口 (西北) 40
最大水蒸气处理量*1  (g/hr)500
润滑剂体积 (mL)90后
功耗(千瓦)在极限压力下1.1
最大限度1.3
电源电压(V)200-240
频率(赫兹)50/60
相数单相/三相
允许电压波动*2±10%
功率容量(kVA)3.0
电流 (A)单相11.1
三相6.5
冷却方式空气冷却
大约质量 (kg)75
环境温度(℃)5-40





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