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ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪 离子溅射仪

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪PFL-22
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

  • 产品型号:PFL-22
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-04-11
  • 访  问  量:343
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品牌其他品牌产地国产

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪PFL-22

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 油扩散泵 分析仪PFL-22




CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 轻量・紧凑、标准尺寸最小的泵

  • 适用于实验室和研究室的小型真空设备。

  • 可以多台运行(最多3台)

  • 可以达到超高真空(10-8Pa以下)

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

特点

  • 价格低廉,销售量多的标准型干式真空泵。

  • 气体接触区域不使用油的干式真空泵。

  • 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。

  • 单级排气系统比两级排气系统更快。

  • 具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。

  • 大气压下可以运作。

用途

  • 真空吸盘,晶圆和处理设备。

  • 真空镊子,医疗器械。

  • 印刷设备。

  • 自动包装机。

  • 光学器具。

  • 半导体行业。

  • 注塑机。


膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计

特点

  • 价格低廉,销售量多的标准型干式真空泵。

  • 气体接触区域不使用油的干式真空泵。

  • 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。

  • 两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力(良好的真空)。

  • 内置自动复位型热保护器等安全设计。

  • 大气压力下可运作。

  • 结构简单,维护方便。

  • Unit50Hz60Hz
    有效排气速度
    L/min120145
    极限压力
    Pa (kPa)3.3×10 3 (-98.0)
    使用电动机

    単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run
    全负荷电流
    A4.85.8
    重量
    kg26.0
    吸・排气口径
    mmODΦ16×IDΦ12 (G 1/2)
    使用环境温度范围
    0~40
    最大尺寸
    mm193.5(W)×411(L)×285(H)













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