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更新时间：2026-09-22 
浏览次数：5在纳米颗粒检测领域，传统光学粒子计数器很难捕捉 10nm 以下超细气溶胶。而半导体洁净室 ULPA/HEPA 过滤材料、空气净化器的性能评估，恰恰需要精准测定纳米级颗粒物过滤效率，尤其是最易穿透粒径 MPPS。TSI CPC3750 凝结核粒子计数器，作为纳米粒子计数设备，可稳定捕捉低至 7nm 超细颗粒，广泛应用于半导体过滤材料研发验证、空气净化器性能检测等场景。
凝结核粒子计数器（CPC）的核心原理：极微小纳米颗粒进入仪器饱和腔，工作液蒸汽在颗粒表面冷凝，让纳米粒子长大至微米级别，再通过光学检测单元完成单粒子计数。TSI CPC3750 采用全流式 CPC 设计，1L/min 采样流量，D50=7nm，可检出 > 3nm 的超细颗粒，突破普通光散射粒子计数器的检测下限，能够精准捕捉过滤材料最容易穿透的纳米颗粒，是评估超高效率滤材的检测设备TSI。
超细颗粒高计数效率D50 可达 7nm，最大可检测粒径＞3μm；浓度测量上限 100000 个粒子 /cm³，无需额外稀释器即可覆盖宽浓度区间。计数精度 ±5%，单粒子计数并自动做重合校正，保障高过滤效率滤材的穿透率精准测量。
高速采集，捕捉动态变化50Hz 高频数据采集，T10-90 响应时间小于 1 秒，可以快速捕捉气溶胶浓度瞬间波动，适合动态过滤测试、脉冲发尘工况下的实时记录，不会漏掉短暂的穿透事件TSI。
适配复杂测试环境内置除水系统，支持高湿度环境采样，不受水汽干扰；配备脉冲高度监测诊断，采样口堵塞时自动切断气流，保护仪器。大容量本地存储，可连续保存数周测试数据，支持触屏本地操作，搭配配套软件导出数据，可接入电脑或集成至测试台。
拓展能力强可搭配 TSI SMPS 扫描电迁移率粒径谱仪，获得完整纳米粒径分布；也可外接纳米增强仪，进一步把检测下限延伸至 1nm，满足前沿材料研发需求。通讯接口齐全，支持有线、无线远程访问，方便搭建自动化滤材测试平台TSI。
半导体晶圆制造洁净车间，ULPA、HEPA 滤材、PTFE / 玻纤过滤膜的核心考核指标就是纳米颗粒过滤效率。0.1μm 以下超细颗粒极易穿透滤材，一旦进入制程，会造成晶圆缺陷，直接影响良率。
测试方案：在滤材上游、下游同步采集气溶胶，CPC3750 分别计数，计算不同粒径下的过滤效率，定位 MPPS 最易穿透粒径；
适用测试：滤材研发、来料验收、批次稳定性验证、老化后过滤性能衰减测试；
价值：满足 EN1822、ISO21083 等滤材测试标准，量化纳米级颗粒穿透率，为半导体洁净过滤材料选型、工艺优化提供定量数据支撑。
常规空气净化器测试大多只关注 PM2.5、0.3μm 颗粒，而超细纳米颗粒物（UFPs）对人体健康影响更大。CPC3750 用于空气净化器的第三方性能检测、研发实验室测试，评估净化器对纳米气溶胶的去除能力。
可开展项目：整机纳米颗粒物 CADR、CCM 测试，不同滤材、不同风速下的纳米颗粒去除效率；
优势：可以捕捉普通粒子计数器无法检出的超细颗粒，客观评估净化器真实净化能力，避免只看大颗粒而忽略纳米污染物的测试盲区，满足 ISO16890 等空气净化相关标准测试需求。
对比普通光学粒子计数器，TSI CPC3750 优点在于7nm 级超细颗粒检测能力，专门解决超高效率滤材的低穿透率测量难题。
半导体行业：用于洁净室 ULPA/HEPA 滤料、化学过滤器、滤芯研发与来料检测，保障洁净环境，降低晶圆污染风险；
空气净化行业：实验室研发、第三方检测，评估空气净化器对超细颗粒物的净化性能；
通用性：仪器稳定可靠，可长时间连续 24 小时运行，适配实验室自动化滤材测试台，数据可溯源，满足检测机构、企业研发实验室的计量要求。
随着半导体先进制程不断升级，以及空气净化行业对超细颗粒物关注度持续提升，对纳米颗粒检测设备的需求持续增长。TSI CPC3750 凝结核粒子计数器，凭借极低的检测下限、快速响应、稳定可靠的计数性能，成为半导体过滤材料、空气净化器性能测试的优选仪器，为滤材研发、产品检测、品质验收提供可靠的纳米颗粒物定量检测手段。
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