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岛津 SHIMADZU DUH-211/DUH-210 系列动态超微小硬度计产品介绍

更新时间:2026-07-29      浏览次数:3

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一、产品概述

DUH™-211/210 系列是岛津推出的新一代动态仪器化压入超微小硬度计,打破传统维氏硬度依靠压痕对角线人工测量的局限,通过全程记录「载荷 - 压入深度」曲线,同步获取硬度、弹性模量、蠕变、塑性变形等全套表面物性参数,是薄膜涂层、微电子、精密金属、高分子材料微观力学性能评价的标准化检测设备。

该系列分为两大版本:基础款 DUH-211/DUH-210、高配旗舰款 DUH-211S/DUH-210S,可根据测试工况、材料品类、循环疲劳测试需求灵活选型。



二、核心测量原理

设备采用电磁力驱动 115° 三角锥 Berkovich 压头压入样品,全程自动采集压入深度数据(深度分辨率 0.0001μm),实时生成载荷 - 深度动态曲线:

动态解析压入全过程中材料弹性、塑性、蠕变变形行为;

无需人工读取压痕对角线,消除人为观测误差;

同时兼容传统静态维氏、努氏硬度测量,一机两用。



三、核心硬件性能参数

试验力范围:0.1~1961mN,全覆盖纳米薄膜、微小零件、厚涂层检测;

力控制分辨率:0.196μN,可精准表征样品最表层纳米级薄膜;

压入深度量程:0~10μm,深度测量精度 0.0001μm(0.1nm);

光学观测系统:标配 500 倍显微镜,可选配 1000 倍高倍物镜,直观观测微观压痕形貌;

加载驱动:高精度电磁加载系统,载荷加载 / 卸载速率线性可控,无机械摩擦误差。



四、基础款与高配 S 款核心功能差异

1. DUH-211/DUH-210(基础标准版)

支持 3 种基础测试模式:保载测试、单次加载 - 卸载测试;

满足基础 ISO 14577 金属材料仪器化压入检测;

适配常规薄膜、金属、陶瓷静态硬度与弹性模量检测;

标配维氏硬度对角线测量功能,可输出传统维氏硬度值。

2. DUH-211S/DUH-210S(高配旗舰款)

在基础款全部功能之上,拓展至7 种专业测试模式,新增:

循环加载 - 卸载疲劳测试;

阶梯式分段加载 / 卸载测试;

指定深度恒定压入测试;

深度锁定加载卸载复合试验;

可用于材料疲劳、反复载荷下蠕变变形、多层梯度涂层力学性能分层检测,适配新材料研发、半导体精密零部件质检场景。



五、标准合规能力

设备完整适配全球主流材料检测标准,测量后软件自动判定合格 / 超差:

ISO 14577-1:金属材料仪器化压入硬度试验,可评估马氏体硬度、嵌入弹性模量、蠕变变形、压入功;

ISO/TS 19278:塑料材料统一条件压入硬度评价(DUH-210/210S 机型专属适配);

支持 Tangent depth 切线深度算法,输出等效嵌入维氏硬度 HVI;

兼容国标 GB/T、日标 JIS、德标 DIN、美标 AGMA 硬度判定体系,满足汽车、半导体、医疗器械行业 IATF16949 追溯要求。



六、全品类材料应用场景

1. 薄膜涂层领域

DLC 类金刚石膜、半导体晶圆氧化层、电镀金属镀层、离子注入改性层、光学镀膜;可仅测试涂层力学性能,不受基材干扰。

2. 金属精密零部件

热处理表层硬化层、微小齿轮、微型轴承、医用植入合金、航空精密合金微观硬度与变形特性检测。

3. 非金属材料

工程塑料、弹性橡胶、光纤、碳纤维、玻璃、陶瓷等脆性 / 柔性材料,可同步评价弹性、蠕变特性。

4. 科研与检测

高校材料实验室、第三方检测机构、半导体芯片研发,用于新材料力学性能研发、制程工艺稳定性验证。



七、配套软件与数字化功能

一体化专业分析软件

自动生成载荷 - 深度曲线、材料物性色谱分布图,一键导出 PDF 标准化检测报告,完整记录测试力、压入深度、弹性模量、蠕变量、硬度等全部原始数据。

多批次数据对比分析

内置数据库自动存储历史测量数据,支持热处理前后变形对比、不同加工工序误差对比、批量产品 CPK 制程能力统计。

工业数据互联

设备搭载高速数据通讯接口,测量数据可实时上传工厂 MES 数字化系统,实现检测数据云端归档、远程设备监控,适配智能无人工厂质检产线。



八、产品优势总结

超高微观测量精度:纳米级深度、微牛级力分辨率,超薄涂层、微观区域检测无压力;

一机多能:动态仪器化压入测试 + 传统维氏 / 努氏硬度测试双模式,替代多台单一功能检测仪;

版本灵活选型:基础款满足常规量产质检,S 旗舰款适配新材料研发、疲劳循环试验;

全行业标准覆盖:金属、塑料、半导体、医用材料全部合规,检测报告全球通用;

低人为误差:全自动深度采集,无需人工测量压痕对角线,批量检测稳定性更强。


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