MIYUKI美幸辉 GAR‑C系列是日本原厂研发生产的ISO‑C卡箍法兰式电动伺服真空控制闸阀，专为高洁净、大流量、高精度闭环稳压高真空工艺打造。系列完整覆盖主流通径：GAR‑C63B、GAR‑C100B、GAR‑C160B、GAR‑C200B、GAR‑C250B，采用行业通用ISO‑C（ISO3669）卡箍快拆结构，兼顾快速拆装密封与连续开度调节能力，是半导体镀膜、光学蒸镀、真空热处理、科研高真空腔体的核心压力调节执行阀门。
相较于BAR系列蝶阀，GAR‑C闸阀拥有通流量大、排气效率高、流阻极低、断电自锁密封等优势；相较于普通气动开关阀，可实现0~100%无级连续调压，适配需要精准稳压、稳定流量控制的真空制程，是中大口高真空管路稳压与隔离的优选型号。
一、产品核心结构与工艺优势
1. ISO‑C卡箍快拆法兰，通用性强
全系采用ISO3669标准卡箍法兰，无需复杂螺栓对位，拆装便捷、密封快速，适配国内外主流高真空设备、科研腔体、实验管路改造。相比JIS、ISO螺栓法兰，C型卡箍结构更适合频繁维护、快速拆装的工况，兼容市面标准卡箍、O型圈配件，后期维护成本更低。
2. 伺服电机直驱零背隙，调压精度优异
搭载步进电机直驱结构，无齿轮传动间隙、无滞后偏差，闸板开度可实现0~100%全程线性调节。在微小开度区间压力调节稳定性强，可配合真空控制器实现精密闭环稳压，有效解决腔体压力漂移、波动、重复性差等行业痛点，大幅提升工艺良率。
3. 断电自锁刹车，安全防泄压
内置断电制动锁止机构，设备断电瞬间自动锁死当前闸板开度，保持腔体密封状态，杜绝意外泄压、压力突变问题。尤其适合连续量产设备、高温真空热处理、精密镀膜等不能停机泄压的关键工艺，保障设备与工艺安全。
4. 超低泄漏+洁净低放气设计
阀体采用SUS304不锈钢精密研磨成型，无粉尘析出、低气体放气；阀板、传动轴双重FKM氟橡胶密封，内外漏率达到行业顶级标准：内部泄漏量≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s，外部泄漏量≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，可稳定适配常压至10⁻⁶ Pa高真空环境，满足半导体、光学等高洁净制程要求。
5. 大流量低流阻，排气性能出众
闸板直通式流道结构，全开状态下流阻极小、抽气排气效率远优于同口径蝶阀，适合大腔体、大抽速真空系统快速稳压与排气调节，兼顾快速抽真空与精细化压力微调双重需求。
6. 静音稳定、耐用免维护
启闭、调压全程静音运行，无冲击震动；结构简洁紧凑，无易损耗传动配件，支持24小时长期连续运行，适配工业量产与实验室高频使用，长期运行稳定性高、故障率低。
二、全系型号通径覆盖
GAR‑C系列完整覆盖中小至中大主流真空管路通径，选型全覆盖、场景全覆盖：
GAR‑C63B：DN63 小口径精密调节，适配小型实验腔体、精密测试设备
GAR‑C100B：DN100 通用主力口径，适配中小型镀膜、热处理设备
GAR‑C160B：DN160 中口径量产标配，半导体、光学产线常用型号
GAR‑C200B：DN200 大流量工况，大型真空腔体稳压排气
GAR‑C250B：DN250 超大通径，工业级大腔体连续制程专用
三、核心技术参数
参数项目 | 技术规格 |
|---|
产品系列 | GAR‑C 伺服真空控制闸阀（ISO‑C卡箍法兰） |
覆盖通径 | DN63 / DN100 / DN160 / DN200 / DN250 |
适用压力范围 | 10⁵ Pa ~ 10⁻⁶ Pa（常压至高真空） |
阀板内部泄漏量 | ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s |
传动轴外部泄漏量 | ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
阀体材质 | SUS304 镜面不锈钢（低放气、低粉尘） |
密封材质 | FKM氟橡胶（标准耐高温密封） |
驱动方式 | 步进电机直驱，0~100%无级开度调节 |
法兰标准 | ISO‑C（ISO3669）卡箍快拆法兰 |
断电特性 | 断电刹车自锁，保持当前密封开度，防腔体泄压 |
运行特性 | 大流量低流阻、静音运行、线性调压、高洁净 |
四、成套控制系统适配方案
GAR‑C系列闸阀为高精度执行单元，可无缝搭配MIYUKI美幸辉原厂控制器，组成完整闭环真空稳压系统，即装即用、无需复杂调试：
整套系统可实时采集腔体真空压力，自动动态调节闸板开度，持续稳定腔体真空度，解决人工调压波动大、重复性差、无法连续生产的痛点。
五、产品选型区分（GAR系列法兰版本差异）
GAR‑C系列（本文型号）：ISO‑C卡箍快拆法兰，拆装维护便捷，实验室、频繁检修设备选择；
GAR‑I系列：ISO标准螺栓法兰，国际通用，适配进口产线；
GAR‑J系列：JIS日系维护法兰，适配传统日系真空设备改造替换。
三款阀体性能、调压精度、断电自锁功能一致，仅法兰安装形式不同，可根据现场设备法兰标准精准选型替换。
六、典型应用场景
半导体行业：PVD、CVD、刻蚀、离子注入设备真空腔体压力调节与隔离；
光学光电行业：光学镜片、薄膜、玻璃真空蒸镀、溅射镀膜精密稳压；
新能源产业：锂电池、储能材料、陶瓷材料真空烧结、真空热处理大腔体设备；
科研实验领域：高校、研究所高真空实验平台、气氛实验、真空测试系统；
精密制造：元器件真空封装、真空干燥、精密真空工艺设备。
七、产品总结
MIYUKI美幸辉GAR‑C系列ISO‑C卡箍式真空闸阀，集合快拆法兰易维护、大流量低流阻、伺服精准调压、断电安全自锁、高洁净低泄漏多重优势，覆盖DN63~DN250全主流通径。既可作为精密压力调节阀实现闭环稳压，也可作为高可靠真空隔离阀实现腔体密封，适配科研小试到工业量产全场景，是ISO‑C法兰体系下高真空压力控制系统的核心优选设备。
更新时间：2026-07-17 
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