MIYUKI美幸辉 BAR-I系列精密真空控制蝶阀产品介绍

更新时间：2026-07-17

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品牌概述：MIYUKI（美幸辉）作为日本专业真空压力控制设备品牌，深耕真空精密调压领域多年，专注研发生产高精度、高洁净、高稳定性的真空阀门与控制系统，产品广泛适配半导体镀膜、光学蒸镀、真空热处理、科研实验等真空工艺场景。其中BAR-I系列真空伺服控制蝶阀是品牌主力精密调节型阀门，搭载电机直驱伺服结构，适配ISO标准法兰，覆盖多规格通径，是中小口径真空腔体闭环压力控制的核心执行元件。

一、产品定位与核心特点

核心产品优势如下：

超高密封性能，适配高真空工况：阀片内漏量≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s，传动轴外漏量≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，内外双重超低泄漏，可稳定适配常压至10⁻⁵ Pa高真空环境，杜绝腔体泄压、压力波动问题。
静音稳定运行，设备兼容性强：启闭与开度调节过程噪音极低，运行平稳无冲击，适配实验室精密设备、镀膜产线等对运行环境要求严苛的场景。
全系列通径覆盖，选型灵活：全系涵盖小口径到大口径全规格，满足不同尺寸真空腔体、不同流量工况的选型需求。

BAR-I系列真空控制蝶阀完整通径型号：BAR-I40、BAR-I50、BAR-I63、BAR-I80、BAR-I100、BAR-I160、BAR-I200、BAR-I250，全面覆盖DN40~DN250主流真空管路通径，可适配小型实验腔体、中型工业制程腔体等各类设备。

三、配套控制系统（完整闭环方案）

搭配 MG-mini485 经济型控制器：适配常规实验室、中小型量产设备，满足基础精密稳压需求；

整套系统可实时采集腔体压力数据，自动调节蝶阀开度，动态平衡真空腔体压力，杜绝压力漂移、波动，大幅提升工艺稳定性与产品良率。

参数项目	技术规格
产品系列	BAR-I 伺服真空控制蝶阀（ISO法兰）
覆盖通径	DN40~DN250（40/50/63/80/100/160/200/250）
适用压力范围	10⁵ Pa ~ 10⁻⁵ Pa（常压至高真空）
阀片内部泄漏量	≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
传动轴外部泄漏量	≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
阀体材质	SUS304 镜面不锈钢（低放气、低粉尘）
密封材质	FKM氟橡胶（标准），可定制全氟醚耐高温密封
最高耐温	阀体150℃，驱动电机≤40℃
驱动方式	步进电机直驱，0~100%无级开度调节
连接标准	ISO国际标准法兰
运行特性	静音运行、无传动背隙、微小开度稳压优异

凭借高精度、高洁净、高稳定的产品特性，BAR-I系列真空蝶阀广泛应用于各类真空精密工艺：

光学行业：光学镜片蒸镀、真空溅射、精密光学涂层制备；
科研实验：高校、实验室精密真空腔体、气氛实验设备稳压控制；

六、产品选型优势总结

相较于市面普通真空蝶阀，MIYUKI美幸辉BAR-I系列凭借电机直驱无间隙调节、超低泄漏密封、洁净低尘结构、全通径选型覆盖、闭环系统适配性强五大核心优势，成为中小口径高精密真空压力调节的优选设备。全系ISO法兰通用性强、安装维护简便、工艺适配度高，可替代传统调节精度差、易扬尘、密封性不足的普通阀门，有效提升真空设备的工艺精度与运行稳定性

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MIYUKI美幸辉 BAR-I系列精密真空控制蝶阀 产品介绍

一、产品定位与核心特点

三、配套控制系统（完整闭环方案）

六、产品选型优势总结

MIYUKI美幸辉 BAR-I系列精密真空控制蝶阀产品介绍