低噪节能、高真空稳定之选：himac VR16G/VR16 直结式油旋转真空泵

更新时间：2026-05-18

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在精密科研、电子制造与工业实验室场景中，高真空度、低噪音、稳定可靠的真空泵是核心辅助设备。日立旗下 himac 品牌推出的VR16G/VR16 双级直结式油旋转真空泵，以 “静音低振、节能高效、极限高真空" 为核心优势，成为电子显微镜、质谱仪、真空镀膜、离心浓缩等设备的理想前级泵，精准满足实验室与精密工业对真空环境的严苛需求。

一、产品定位与型号差异

VR16G 与 VR16 同属 himac 双级直联油旋片泵系列，核心结构与性能参数一致，仅在气镇阀配置上区分，适配不同抽气工况：

VR16（标准型）：无气镇阀，专注干燥气体抽真空，极限真空度更高，适合追求真空的纯物理实验、精密镀膜、电子器件排气等场景。

VR16G（气镇型）：搭载气镇阀（Gas Ballast），可引入少量干燥空气稀释可凝性气体（水蒸气、有机溶剂蒸汽），有效防止泵油乳化变质，延长换油周期，适配含水、含溶剂的真空干燥、脱泡、蒸馏等场景。

二、核心技术参数：精准匹配精密需求

作为双级旋片结构的直结式泵，VR16 系列以紧凑设计实现强劲真空性能，关键参数如下：

抽气速率：50Hz 工况 140L/min，60Hz 工况 168L/min，快速建立真空，缩短设备待机时间。

极限真空度：VR16（关气镇）达10⁻²Pa 级；VR16G 开气镇时为 1Pa 级，兼顾高真空与抗蒸汽能力。

电机与能耗：AC100V 单相电机，功率 0.4kW，50Hz 电流 3.2A、60Hz 电流 2.6A，低功耗设计，长期运行更节能。

噪音与振动：50Hz 高真空状态下噪音仅45dB(A)，60Hz 为 48dB (A)，搭配整体防振阻尼支撑，振动极低，适配安静实验室环境。

物理规格：尺寸 213×488×273mm，重量 26kg，泵油量 0.9L，进气口外径 φ22mm，小巧紧凑，便于台面安装与移动。

三、三大核心优势：科研与工业的可靠保障

1. 实验室级静音低振，守护精密实验

VR16 系列针对科研场景优化噪音与振动控制：排气口搭载专用消音器，将运行噪音降至图书馆级静音水平；整机采用防振阻尼底座，减少振动传递，既避免干扰电子显微镜、质谱仪等精密设备的检测精度，又降低自身部件磨损，延长使用寿命。

2. 双级结构 + 节能设计，高效稳定

双级旋片结构实现10⁻²Pa 级极限真空，满足高真空场景需求；直结式驱动无传动损耗，配合电容运转式电机，能耗比传统泵降低 30% 以上，长时间连续运行稳定不发热，适配 24 小时不间断真空作业。

3. 气镇阀差异化设计，适配多元工况

VR16G 的气镇阀功能解决可凝性气体抽除难题，防止水蒸气、溶剂蒸汽导致泵油乳化、真空度下降；VR16 专注干燥气体，实现更高极限真空，两款型号覆盖从基础真空实验到精密工业排气的全场景需求。

四、典型应用场景

精密科研仪器：电子显微镜、质谱仪、光谱仪的前级泵，为离子泵、扩散泵提供稳定前置真空。

实验室真空设备：真空干燥箱、离心浓缩仪、真空脱泡机、冷冻干燥机配套泵。

电子与半导体工业：半导体晶圆检测、LCD/OLED 面板排气、小型镀膜机、真空管 / 灯泡制造排气。

工业与理化实验：真空吸附、真空蒸馏、材料脱泡、高校 / 研究所真空实验装置。

五、选型与维护建议

抽除干燥气体、追求极限真空 → 选VR16

抽除水蒸气、有机溶剂蒸汽 → 选VR16G（带气镇）

维护要点：定期更换专用真空泵油，保持进气口清洁，气镇阀定期清洁保养，可大幅延长泵体寿命，维持稳定真空性能。

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