Toho-Tec NanoSpec6500系列光学膜厚计

更新时间：2026-04-14

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NanoSpec6500系列是Toho-Tec从Nanometrics公司2005年起承接技术转移并制造销售的FPD（平板显示）专用光学膜厚测量设备。该系列在全球主要液晶生产工厂拥有超过100台的导入实绩，是FPD行业膜厚测量的标准设备

光干涉反射率测量法

光谱椭偏仪（SE）扩展

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软件功能特点

NanoSpec软件

用户友好的操作界面

支持各种Recipe设定、测量参数设定、数据管理

可选功能扩展： sheet resistance测量、接触角测量、段差测量

膜厚分布显示

从测量数据生成膜厚分布图

面内状态可视化，膜厚差异以色阶显示

3D Mapping

从测量数据创建3D立体图像

支持360度旋转查看

可确认任意点的高度信息

抓抓.png

Toho-Tec定制服务

全流程自主制造：从设计到制造、电气设计、CIM通信设计均在自社完成

灵活定制：可根据客户需求进行硬件和软件定制

专业应用支持：经验丰富的应用工程师提供高精度Recipe作成和验证服务

应用领域

FPD/LCD生产线：TFT-LCD、OLED的各层薄膜厚度监控

半导体制造：钝化膜、栅极绝缘膜测量

LED制造：外延层厚度控制

太阳能电池：透明导电膜、减反射膜测量

材料研究：光学常数测定、新材料特性评估

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Toho-Tec NanoSpec6500系列 光学膜厚计