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更新时间：2026-03-23 
浏览次数：2| 型号 | 支持晶圆尺寸 | 主要应用 |
| ---------- | ---------- | -------- |
| WA-8A | 4、5、6、8 英寸 | 中小型晶圆预对准 |
| WA-12A | 8、12 英寸 | 大尺寸晶圆预对准 |
| 项目 | 规格 |
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| 适用晶圆 | 硅晶圆（Silicon Wafers）
| 传感器类型 | CMOS 传感器
| 定心精度 | ±0.05 mm
| 检测方式 | 边缘检测（Edge Detection）
公司背景
Texeg 在预对准领域拥有悠久历史：
1989年：开始开发并销售 Orientation Flat Aligner（定向平边对准器）
2001年：开始销售 12 英寸定向平边对准器
2011年：开始销售支持翘曲晶圆的定向平边对准器
2012年：推出 U 系列定向平边对准器
应用领域
WA 系列预对准单元主要应用于：
半导体晶圆搬运系统
光刻机配套设备
晶圆检测设备前端
其他需要高精度晶圆定位的自动化设备
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