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INTECS卤素灯UIH-3D 高照度晶圆检查灯 -技术分析

更新时间:2026-03-19      浏览次数:9

产品概述

INTECS UIH-3D 是一款用于视觉检查的高亮度卤素灯光源装置,主要应用于半导体晶圆、液晶面板、光学玻璃等表面缺陷检测

核心技术原理

通过将高亮度光线照射在目标物体上,产生丁达尔效应(Tyndall Effect),使表面的划痕、尘埃、异物及内部气泡等缺陷清晰可见

主要技术规格

| 参数项                    | 规格值                  |

| ---------------        | -------------------- |

| 灯泡额定值             | 100V 650W            |

| 设计照射直径/距离  | 距灯筒顶端270mm处,φ100mm   |

| 大亮度                | 约300,000 lux(照射直径中心) |

| 50万lux时照射直径 | 约φ80mm               |

| 倍径距离/亮度        | 560mm处约75,000 lux    |

| 亮度偏差                | 上限10%,下限20%          |

| 调光范围                | 10:1以上               |

| 亮度灯泡寿命   | 75小时以上               |

| 半亮度灯泡寿命      | 1,800小时以上            |

| 调光方式                | SCR相位控制(50/60Hz自动切换) |

| 冷却方式                | 风扇强制风冷               |

| 过热保护                | 温度超过130°C时自动关闭       |

| 冷却保持功能         | 关机后风扇持续运转至40°C以下     |

| 电源                      | AC100V 半变压器式         |

| 总重量                   | 约13 kg               |

应用领域

  • 半导体制造:晶圆表面划痕、颗粒污染检测
  • 液晶显示:面板内部气泡、异物检查
  • 光学元件:透镜、滤光片表面质量检测
  • 硬盘制造:盘片表面缺陷目视检查
  • 玻璃加工:光学玻璃、掩模版洁净度检测

产品系列对比

| 型号         | 灯泡规格       | 亮度         | 重量     | 特点         |

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| UIH-1C    | 15V 150W   | 约600,000 lux | 约7 kg  | 紧凑便携型      |

| UIH-2D    | 100V 300W | -                     | -           | 中等亮度,带过热保护 |

| UIH-3D   | 100V 650W | 约300,000 lux | 约13 kg | 高亮度专业型 |



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