服务热线：15019449780产品到哪里，服务到哪里 !
products category
更新时间：2026-01-15 
浏览次数：2山田光学「高强度卤素光源」：给晶圆一次“无影灯级"的 360°体检一、先给数字输出 35 klx @ 300 mm 工作距——比同功率 LED 阵列再亮 1.7 倍色温 3 200 K，显指 Ra 98——金属层颜色偏差 ΔE<0.5，AI 判图不再“误杀"热启动 < 3 s，冷重启 < 60 s——节拍 1 s 的晶圆全检线也等得起寿命 2 000 h（额定）/ 3 000 h（ECO 模式）——比传统卤素灯延长 40 %光纤出口照度衰减 ≤ 5 % @ 500 h——省去频繁标定把以上指标塞进一台 2U ½19" 机箱里，就是山田光学为 YP-150I / YP-250I 远心镜头量身定制的「高强度卤素光源」——晶圆缺陷检测的“无影灯"。二、为什么晶圆检测还离不开“卤素"连续谱：400 nm–800 nm 无尖峰，金属膜（Al、Cu、TiN）表面微划痕的散射光均匀，不会出现蓝光 LED 造成的“暗划痕"漏检。高显指：Ra 98 让 AI 分类模型在颜色特征空间聚类更紧致，实测误报率下降 0.3 % → 0.05 %。热惯性低：灯丝热容量小，亮度 90 % 稳定时间 < 3 s，适合“片到即拍"的短节拍设备。可调纹波：山田内置 120 kHz 高频恒流源，光输出纹波 < 0.2 %，避免线扫相机行频与工频拍频造成的横向条纹。三、系统架构：把“热量"留在机箱，“冷光"送进真空腔35 W 卤素灯珠 → 镀金反射碗 → 8 mm 液芯光纤 → 真空法兰 → 山田 YP 远心镜头同轴入口机箱内 2×40 mm 磁浮风扇，噪音 38 dB(A)；灯珠温度维持在 85 ℃，外壳 < 45 ℃，可直接贴在运动平台侧面光纤出光口 22 mm 工作距处照度可达 35 klx，景深 5 mm 内均匀性 ±3 %——覆盖 150 mm/250 mm 全视场，无需额外条形补光四、与 YP-150I / YP-250I 的“光学握手"山田把同轴照明端口设计成 F 值 = 8.0，恰好匹配 YP 系列物方远心光路：光线平行度 ≤ 0.05°，减少晶圆表面倾斜 1° 时引入的 0.2 µm 测量误差同轴分光镜镀 45° 400–700 nm 宽带膜，透过率 95 %，反射率 50 %，保证相机收到足够亮度同时避免“亮斑吃灰"整个光路无额外玻璃片，系统 TV 畸变仍维持 < 2 µm，12 英寸晶圆边缘与中心测量一致性 ≤ 0.8 µm
五、实测对比：卤素 vs 白光 LED vs 激光散射
| 指标 | 卤素 35 W | LED 60 W | 激光 520 nm 5 W | 备注 |
| --------- | ------- | -------- | ------------- | ---------- |
| 照度 @22 mm | 35 klx | 20 klx | 点照明 | 卤素胜出 |
| 显指 Ra | 98 | 85 | — | 颜色缺陷识别率↑ |
| 热影响 | 0.3 ℃/片 | 0.2 ℃/片 | 0.1 ℃/片 | 均低于晶圆热变形阈值 |
| 划痕检出率 | 99.7 % | 97.1 % | 96.8 % | 卤素漏检最少 |
| 灯寿命 | 2 000 h | 50 000 h | 10 000 h | 卤素需定期换灯 |
| 单次耗材成本 | USD 18 | 0 | 0 | 换灯 < 2 min |
六、场景案例12 英寸 Cu 制程 BUMP 高度测量配置：YP-250I + 20 MP 相机 + 高强度卤素同轴结果：Bump 高度重复性 σ = 0.08 µm，GR&R 4 %，每小时可检 110 片功率器件深沟槽（Trench）缺角检测沟槽宽度 3 µm，深度 60 µm，侧壁角 87°卤素平行光在深沟形成清晰阴影，AI 轮廓匹配检出 0.5 µm 崩角，误判 < 20 ppmOLED 驱动芯片金属划痕金属层厚 200 nm，划痕宽度 < 1 µm高显指卤素让划痕与晶向反光颜色差异放大 1.8 倍，分类模型 F1-score 由 0.89 提到 0.96
七、升级路径与生态亮度闭环：内置光电二极管，实时反馈灯珠照度，老化 80 % 自动报警，可与主机 SECS/GEM 协议对接ECO 模式：软件把电流降到 70 %，寿命延长至 3 000 h，照度仍维持 28 klx，满足非关键缺陷工序多通道：一台机箱可插 2 灯 2 光纤，分时点亮，实现“明场 + 暗场"一键切换，节拍节省 0.4 s耗材包：灯珠 + 反射碗一体模块，现场 30 秒热插拔，备件价 USD 18，年均耗材成本 < USD 40/台八、一句话总结当芯片线宽走进 3 nm，缺陷尺寸已用 Å 来计算，任何“照明"都不再只是照明，而是数据质量的源头。山田光学把 35 W 卤素灯做到优良平行、均匀、显指，塞进与 YP-150I / YP-250I 匹配的小盒子——让每一次晶圆拍照，都像在无影灯下做一场外科手术。看得清，才能测得准；测得准，才能良率无忧。
扫一扫
您的位置：
在线咨询
返回顶部