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更新时间：2026-01-12 
浏览次数：2在半导体、光伏和精密制造领域，超纯水及高纯化学品的脱气处理是确保工艺稳定性的关键环节。水水晶技研株式会社（suisho-techno）推出的PF系列特氟龙（PTFE）中空纤维脱气膜，凭借其稳定的化学稳定性和高效脱气性能，已成为高纯流体处理系统的核心组件。本文将深度解析PF-03F/PF-06F/PF-10F/PF-13F/PF-28F全系列产品的技术特性与应用价值。
一、产品技术原理与核心优势
PF系列脱气膜采用聚四氟乙烯（PTFE）非多孔中空纤维膜作为核心分离介质，其工作原理基于气体分压差驱动：液体在中空纤维管内流动时，管外真空环境通过膜壁将溶解气体（O₂、CO₂、N₂等）抽出，实现高效脱气。
核心优势：
全氟树脂结构：所有与液体接触部件均采用PTFE/PFA等氟树脂，耐强酸、强碱及有机溶剂腐蚀
非多孔膜技术：致密膜结构确保液体零泄漏至真空侧，适用于光刻胶、显影液等昂贵工艺化学品
低压损失设计：优化流道结构，在保证脱气效率的同时将压力损失降至少
二、全系列型号技术参数对比
根据资料，PF系列各型号性能参数如下
| 型号 | 推荐流量范围 | 外形尺寸(直径×长度) | 耐压性 | 工作温度 | 接口规格 |
| -------- | ------------ | ----------- | --------- | ------ | -------------------------------------
| PF-03F | 1–100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 液体侧: 1/4" Super Pillar<br>真空侧: Rc 1/8 |
| PF-06F | 1–100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 同PF-03F |
| PF-10F | 1–200 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar / Rc 1/8 |
| PF-13F | 1–300 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar / Rc 1/8
| PF-28F | 1–500 mL/min | φ102×440 mm | 0.294 MPa | 40°C | 3/8" Super Pillar / Rc 1/8
注：PF-06F参数与PF-03F相近，主要差异在于中空纤维膜面积与脱气效率曲线
低压损失型号：
PF-13F(T)：流量范围扩展至1–500 mL/min，压力损失降低约40%
PF-26F(T)：大流量型，支持1–500 mL/min，适配10mm接头
三、关键性能指标分析
1. 脱气效率
对纯水体系，在标称流量下可实现：
溶解氧（DO）去除率 >95% （出口DO < 10 ppb）
总溶解气体（TDG）降低 >90%
二氧化碳（CO₂）去除率 >98% （出水比电阻提升显著）
2. 化学兼容性
PTFE材质对以下介质表现出优异耐受性：
强酸：浓H₂SO₄、HCl、HNO₃、HF等
强碱：NaOH、KOH、NH₄OH（浓度50%）
有机溶剂：丙酮、异丙醇、NMP、DMSO等
特殊化学品：光刻胶、显影液、刻蚀液
3. 温度与压力边界
连续工作温度：-10°C 至 40°C（短期可耐60°C）
爆破压力：>1.5 MPa（安全系数≥5）
真空度要求：-85 kPa至-95 kPa（压力5-15 kPa）
四、典型应用场景
1. 半导体超纯水系统
安装于 polish loop 回水线，防止溶解氧导致管道腐蚀与颗粒析出。某12英寸晶圆厂案例显示，部署PF-13F后，系统DO稳定控制在 <3 ppb ，颗粒（≥0.1μm）减少 67%。
2. 光刻胶输送系统
对ArF、KrF光刻胶进行在线脱气，消除气泡导致的涂布缺陷。PF-10F在该场景下可实现 零气泡 输送，缺陷率降低 >80%。
3. 化学品配送系统（CDS）
在显影液（TMAH）、刻蚀液（HF）等强腐蚀性化学品循环系统中，PF-28F的大流量处理能力（500 mL/min）可支持多机台集中供液。
4. 喷墨打印与涂层工艺
对溶剂型墨水进行脱气处理，防止喷头堵塞与涂层针孔缺陷。
五、选型与运维指南
选型策略：
流量匹配：按实际流量的 1.2-1.5倍 选择型号，预留工艺波动余量
脱气目标：对超纯水选PF-13F以上；对高粘度化学品选低压损失(T)型
系统集成：注意真空泵抽速与膜面积匹配，避免真空度不足
运维要点：
启动前处理：使用IPA或超纯水进行 30分钟 润湿冲洗，激活膜表面
反冲洗周期：每 3个月 用洁净溶剂反冲洗，去除膜表面吸附物
膜寿命：在规范使用条件下，膜组件寿命 >24个月 或 5000小时
完整性检测：定期进行起泡点测试（推荐压力 0.15 MPa），确保膜无破损
六、市场定位与竞争优势
相比同类产品，suisho-techno PF系列的核心竞争力在于：
日本精密制造：中空纤维膜壁厚均匀性 ±3μm，确保脱气稳定性
全氟无金属设计：杜绝金属离子析出风险，满足最严苛的SEMI F57标准
模块化快速更换：卡扣式结构设计，膜组件更换时间 <15分钟 ，减少系统停机损失
结语
suisho-techno PF系列特氟龙脱气膜通过材料科学与流体力学的深度结合，为高纯流体处理提供了可靠的脱气解决方案。在良好制程对缺陷控制要求日益严苛的今天，选择合适的脱气膜型号并优化运维策略，将成为提升产品良率与降低运营成本的关键技术决策。建议用户根据具体工艺需求，结合厂家提供的脱气效率曲线与化学兼容性清单进行精细化选型。
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