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更新时间：2026-01-10 
浏览次数：2DIC Global eFLOW系列超纯水电阻率调控装置：精密防静电技术的革新方案在半导体制造与平板显示（FPD）产业的超纯水应用中，静电引发的微粒子再附着与基板图案静电破坏是导致产品良率下降的隐性杀手。传统防静电方法难以在维持水质纯度的前提下实现精准控制。DIC Global推出的eFLOW系列超纯水用防静电装置，通过技术的中空纤维透气膜CO₂溶解技术，为这一行业难题提供了兼具高纯度、高精度与高稳定性的解决方案。
一、技术原理：CO₂溶解与电阻率精准调控1.1 核心工作机制eFLOW系列采用DIC自主开发的中空纤维透气膜模组，将高纯二氧化碳（CO₂）高效溶解至超纯水（DIW）中。其工作原理为：溶解过程：DIW在中空纤维膜内部流动，CO₂从膜外侧渗透溶解。微细化纤维膜束提供了巨大的气液接触表面积，实现快速、均匀的CO₂溶解。离子化反应：溶解的CO₂在DIW中形成碳酸，电离产生H⁺与HCO₃⁻离子，使原本绝缘的超纯水具备可控导电性，从而有效耗散静电荷。混合比调控：通过精确调节CO₂饱和水与纯DIW的混合比例，可将电阻率值稳定控制在0.15~1.9 MΩ·cm范围内，精度达±0.03 MΩ·cm，确保防静电效果与工艺要求的平衡。1.2 结构优势该方案摒弃了传统膜接触器的复杂结构，无需高价CO₂渗透膜等耗材，也无CO₂排气与废水排放问题，系统简化带来故障率显著降低
1.2 结构优势该方案摒弃了传统膜接触器的复杂结构，无需高价CO₂渗透膜等耗材，也无CO₂排气与废水排放问题，系统简化带来故障率显著降低。二、产品阵容：模块化设计满足不同工况eFLOW系列提供Panel mount（P系列）与Cabinet（C系列）两种安装形态，覆盖1-50 L/min流量范围：P系列（机架安装型）eFLOW 1AP-B02：1–16 L/min，单模组PF-001L-NAeFLOW 2AP-B01：5–30 L/min，双模组PF-001L-ND2eFLOW 3AP-B01：10–50 L/min，双模组PF-001L-ND3C系列（机柜型）eFLOW 1AC-P201：1–16 L/min，单模组PF-001L-NAeFLOW 2AC-P201：5–30 L/min，双模组PF-001L-ND2eFLOW 3AC-P201：10–50 L/min，双模组PF-001L-ND3「2AP/2AC及3AP/3AC型号装载双CO₂溶解模组」 ，可确保大流量工况下的溶解效率与响应速度
三、核心竞争优势3.1 长寿命与低运维成本CO₂供气模组保证期限长达5年（DIC自制），远高于传统膜组件的1-2年使用寿命。结构简单：无运动部件，管路分配方式独特，长期运行稳定性优异。3.2 高精度快速响应控制精度：±0.03 MΩ·cm的电阻率控制精度，确保工艺一致性。水量变动应答速度快：即使流量大幅波动，系统也能迅速调整，维持出口电阻率稳定，满足清洗工艺中断续用水的需求。3.3 环保与兼容性经济环保：无需消耗性膜材料，无CO₂废气与废水排放，运行成本降低40%以上。双氧水杀菌对应：全系列支持3% H₂O₂循环杀菌，有效解决微生物滋生问题，符合半导体行业严格的洁净要求。3.4 宽泛的工况适应性高水压环境：使用压力达0.5 MPa，可灵活配置于高压喷射清洗等场景。低压力损失：在3000 L/h（50 L/min）流量下，压力损失仅0.06 MPa，对上游泵送系统影响极小。
四、典型应用领域eFLOW系列在半导体与FPD制造的关键清洗制程中发挥核心作用：掩模/网袋清洗：防止静电导致的光罩图案损伤与颗粒吸附洗涤器（Scrubber）清洗：确保晶圆表面清洗过程中的静电耗散高压喷射清洗：在0.5 MPa压力下稳定控制电阻率，避免喷射过程中的静电累积切割工序（Dicing）清洗：晶圆切割后清洗时，抑制因静电造成的微粒子再附着槽式（Batch）清洗：大流量槽体清洗中维持全槽电阻率均匀性这些应用场景的共同特点是：超纯水用量大、流速快、工艺对静电敏感度高，eFLOW系列通过主动式CO₂注入，将静电影像降至低。五、技术价值与行业影响DIC eFLOW系列不仅是一项产品，更是超纯水系统防静电策略的范式转变。它克服了传统被动式防静电（如接地、离子风）在液体环境中效果有限的弊端，通过主动改变介质电学特性实现源头控制。相比同类产品，其5年模组寿命与±0.03 MΩ·cm控制精度的"双高"指标，显著降低了全生命周期成本（TCO）。在12英寸晶圆厂中，单台eFLOW 3AC-P201可支持每月5万片产能的清洗工艺，静电相关缺陷改善率超过90%。六、结语随着制程微缩至3nm及以下，超纯水系统对静电控制的要求已从"可选"变为"必修"。DIC Global eFLOW系列凭借其的中空纤维膜CO₂溶解技术、长寿命模组设计与高精度控制能力，已成为半导体与FPD行业超纯水防静电的事实标准。对于追求效率与少运营成本的制造工厂而言，eFLOW不仅是设备选型，更是保障工艺窗口与产品竞争力的战略投资。
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