rexxam超纯水加热单元RHDIW150A介绍

更新时间：2026-01-05

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RHDIW150A是日本株式会社隆祥（Rexxam Co.Ltd）生产的超纯水加热单元，主要用于对超纯水进行精确温控，确保工艺过程的稳定性和产品质量

核心特点高效加热：采用高效率石墨加热管作为热源，相比传统卤素加热管更节能长期稳定性：电阻值长期稳定，显著延长加热器使用寿命材质安全：纯水接触部位采用石英和氟树脂材质，确保水质纯净可选过滤：可搭载高精度过滤器（选配），过滤微细粒子精准控温：温控精度达到±1℃以内

技术规格：

| 项目 | 参数值 |

| ---------- | -------------------------- |

| 型号 | RHDIW150A |

| 适用液体 | 超纯水 |

| 设定温度范围| 25℃～85℃ |

| 温控精度 | 设定温度±1℃以内 |

| 标准流量 | 38L/min |

| 压力损失 | 0.027MPa以下 |

| 加热器能力 | 14.7kW（石墨加热管） |

| 接触部位材质 | 石英、氟树脂 |

| 电源 | 3相 AC220V～480V ±10% |

| 外形尺寸 | 1010(W)×1260(D)×2120(H) mm |

| 重量 | 520kg |

该产品属于Rexxam公司"热源・温湿度调控设备"产品线，专为高洁净度要求的半导体制造环境设计。

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