日本Technomate增压泵的部分型号及详细介绍
1. KPM 系列
KPM-5030
排气压力：
外形尺寸：W470×D800×H370mm
重量：110公斤
No1：4MPa，流量12L/min
No2：2MPa，流量3L/min
产品概要：可同时排放两个不同压力的独立输出，适用于CSP等的切割、去毛刺等操作，一台设备即可完成。放电操作由外部信号独立执行。
规格：
用途：CSP划片、去毛刺等。
KPM-40B
排气压力：No1 4MPa，流量12L/min；No2 2MPa，流量3L/min
外形尺寸：W470×D800×H370mm
重量：110公斤
产品概要：一种内置气动柱塞泵的高压水发生装置，适合安装在集气压调节器、气压表、排气压力表等为一体的装置中。
规格：
用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
2. KPW 系列
KPW-20
纯水、IPA：FKM
NMP：Kalrez
排气压力：0.98~9.8MPa
排出流量：1.13L/min
驱动气压：0.05~0.5MPa
耗气量：约70L(泵冲程数为60SPM时)
湿密封：
用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
KPW-30
纯水、IPA：FKM
NMP：Kalrez
排气压力：1.47~14.7MPa
排出流量：0.71L/min
驱动气压：0.05~0.5MPa
耗气量：约70L(泵冲程数为60SPM时)
湿密封：
用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
KPW-37.5
纯水、IPA：FKM
NMP：Kalrez
排气压力：1.76~17.6MPa
排出流量：0.58L/min
驱动气压：0.05~0.5MPa
耗气量：约70L(泵冲程数为60SPM时)
湿密封：
用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
3. FSBL 系列
FSBL-50
纯水、IPA：氟橡胶
NMP：Kalrez
排气压力：2.5~25MPa
排出流量：1.68L/min
驱动气压：0.05~0.5MPa
先导气压：0.3~0.5MPa
湿密封：
用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
4. PU 系列
PU300A
外部切断动作时溢流阀自动切换内部循环溢流动作压力0.5MPa
循环水温上升检测动作温度50℃
过电流/漏电保护功能断路器动作
泵：级联不锈钢泵，400W
排出流量：13L/min(50Hz)/16L/min(60Hz)，在0.5MPa压力下
适用流体：纯净水
遥控功能：水泵运行/停止指令，DC24V
安全操作：
电源：AC200V ±10%，3Φ，50/60Hz，1.2kVA
外形尺寸：W228×H336×D520mm
重量：约25公斤
使用环境：室内，温度10~35℃，湿度30~80%
用途：各种清洗设备、切粒机主轴电机冷却、去毛刺等。
PU201A
外部切断动作时通过泄压阀自动切换内循环泄压动作压力5Kgf/cm²
循环水温上升检测动作温度50℃
过电流/漏电保护功能断路器动作
泵：级联不锈钢泵，200W
排出流量：17L/min(50Hz)/9L/min(60Hz)，在4Kgf/cm²压力下
适用流体：纯净水
遥控功能：水泵运行/停止指令，DC24V
安全操作：
电源：AC100V ±10%，50/60Hz，8A
外形尺寸：W210×H245×D390mm
重量：约15公斤
用途：各种清洗设备、切粒机主轴电机冷却、去毛刺等。
5. SSBL 系列
SSBL-20
用途：用于晶片IPA清洗或利用溶剂的剥离等高压应用。
SSBL-37
用途：用于晶片IPA清洗或利用溶剂的剥离等高压应用。
6. UPPU 系列
UPPU-10LR
用途：用于需要低水压供应水并进行增压的设备。
更新时间：2025-07-24 
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