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ADTEC Plasma Technology自动阻抗匹配装置 AMVG系列的介绍

更新时间:2024-05-21      浏览次数:27

自动阻抗匹配装置 AMVG系列

特长

可实现高速自动整合

装备了可以用个人电脑操作和测量的AMV软件

内置用于预设和LC网络的标准库

我们还可以根据客户要求讨论定制(I/F ,外观尺寸,整合范围)

 规格

支持频率

380kHz~40.68MHz

电源

单相AC100-200V(50-60Hz)DC24V

最大通过功率

300W~30kW

选件

遥控器
(AMVG-RCH1)

可安装的遥控器
(AMVG-RCM1)

供电电源(AMVG-PS102)

VDC/Vpp传感器

遥控器

可安装的遥控器

1000W型

2000W型

AC电源

3Φ AC200V±10% 50/60Hz 20A以内

最大输出

3000W

输出可变范围

300W~3000W※注 因为磁控管的特性原因,输出600W以内时,不可保证输出直线精度。

输出直线精度

设置功率的±3%以内

输出稳定性

对于电源电压的±10%的变动,±1%以内

输出纹波

5%p-p以下

冷却方式

水冷

外观尺寸

W480xH221.5xD631(mm)

重量

30kg

 

 

  
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