NTM-ETA 是一款先进的高精度和可重复性高温计，设计为作为独立装置运行或与 NTM-Delta
发射率独立高温计结合使用。
用于温度计算的发射率可以直接从 NTM-Delta 或通过主机的串行通信输入
NTM-ETA 的高灵敏度和宽动态范围允许精确测量较低的最的低的温度
NTM-ETA 基于 NTM-Delta 的最的先的进的技术，在全球拥有数千台安装，是一种可靠的低
成本解决方案，适用于 PVD、HDP-CVD、RTP 中的原位非接触式温度监测和其他过程。
特点与优势
现场、非接触式监测
实时测量
高灵敏度和宽动态范围可实现最小温度测量
占地面积小
闭环控制的快速更新率(高达 3,000 Hz)
先进的通信协议，包括 LAN、RS232 以及标准模拟和数字 I/O
针对每个 OEM 工艺环境定制的后台补偿
BIT(内置测试)
提供可选光学接口，包括远程光学接口
可选嵌入式PID控制器
先进、用户友好的软件，用于设置、校准和数据记录
更新时间：2024-03-07 
浏览次数：122
扫一扫
您的位置：
在线咨询
返回顶部