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超高压高纯度 气体过滤器 聚四氟乙烯气体过滤器 ST-A系列

更新时间:2024-02-23      浏览次数:77


ST-A系列

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特征

  • 超高纯度在线气体过滤器

  • 全氟聚合物滤芯

  • 电解抛光 316L 不锈钢外壳

  • PTFE 元件具有卓的越的耐腐蚀性,并且对大多数高纯度半导体工艺气体具有出色的兼容性

  • 3 纳米粒子过滤能力以最小的压降保持高流动效率

  • 5Ra 电抛光表面可防止内部污染

  • 去离子水清洗后用热氮气烘烤,满足半导体工艺标准

  • 100级制造、清洁和包装环境

  • 100% 氦气泄漏测试

购信息

  • S材料
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  • TA产品系列
  •  

  • 50额定流量(SLPM)
  •  

  • 4连接尺寸
  •  

  • 虚拟机连接类型
材料产品系列额定流量(SLPM)连接尺寸连接类型
D316L不锈钢重熔TA产品系列5050 每分钟41/4"SW乐型
S316L不锈钢--100100 每分钟63/8"虚拟机MFS男型
----150150 每分钟81/2"--


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