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更新时间：2024-02-23 
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超高纯度在线气体过滤器
全氟聚合物滤芯
电解抛光 316L 不锈钢外壳
PTFE 元件具有卓的越的耐腐蚀性，并且对大多数高纯度半导体工艺气体具有出色的兼容性
3 纳米粒子过滤能力以最小的压降保持高流动效率
5Ra 电抛光表面可防止内部污染
去离子水清洗后用热氮气烘烤，满足半导体工艺标准
100级制造、清洁和包装环境
100% 氦气泄漏测试
| 材料 | 产品系列 | 额定流量（SLPM） | 连接尺寸 | 连接类型 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D | 316L不锈钢重熔 | TA | 产品系列 | 50 | 50 每分钟 | 4 | 1/4" | SW | 乐型 |
| S | 316L不锈钢 | - | - | 100 | 100 每分钟 | 6 | 3/8" | 虚拟机 | MFS男型 |
| - | - | - | - | 150 | 150 每分钟 | 8 | 1/2" | - | - |
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