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spp住友 洁净臭氧发生器 FPD GRC系列 GRC-RXA / GRC-RG

更新时间:2023-12-21      浏览次数:117

产品介绍

洁净臭氧发生器

住友的臭氧发生器采用板放电方式,利用电能将部分原料气体转化为臭氧。
采用高纯度陶瓷放电表面来产生清洁的臭氧气体,最大限度地减少颗粒和金属污染的产生。作为排放方式,我们实现了业界领的先的臭氧浓度400g/m 3 (N)。
此外,我们还使用我们独的特的技术来处理无氮臭氧发生器,以防止金属污染。
被众多客户在半导体、液晶等制造过程中的干法和湿法工艺中使用,并获得了好评。

应用领域

  • 半导体

  • 各种晶圆

  • FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)

  • 光罩

  • 引的领

  • 其他电子器件材料的干法和湿法工艺

GRC系列

这是一个标准系列,最大浓度为400g/m 3 (N)。

规格
臭氧流量1L/min~24L/min
[210g/m 3 (N)]
臭氧供给压力最大0.2MPa
冷却水温度20℃±2℃
氮添加率氧气流量的0.1%
外形尺寸宽483毫米×深453毫米×高266毫米
重量30~45公斤
电源AC200V 3相
特征
产生400g/m 3 (N)的高浓度臭氧
可安装在19英寸机架上的单元类型
从小流量到大流量的丰富产品阵容
高可靠性放电电池,耐压高,寿命长
快速上升和出色的浓度响应
通过连接臭氧浓度计(反馈控制)实现优异的浓度稳定性
CE/NRTL认证,符合SEMI标准
燃气管道可选用氟树脂和SUS钢。

     

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