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OAI美国 Model 32 UV LED Light Source 32型紫外LED光源

更新时间:2023-12-13      浏览次数:98

这种新型紫外LED光源由OAI久经考验的光刻专家设计和制造。该光源提供了许多独的特的好处,

其中最重要的是在异常长的寿命内保持一致的强度。该光源非常节能,无需维护或更换光源,

并且不含汞。

OAI紫外LED光源提供的光束大小在4"和12"之间,光束均匀性优于+/- 4%。它具有一个棱

镜阵列和光导管,以实现卓的越的均匀性。准直角度小于2度。这种光源具有可变的强度,波长

为365纳米、405纳米或两者的组合。功能包括剂量控制和定时曝光。易于使用,OAI光源使

用触摸屏界面,并有一个USB远程接口。

UV光源提供多种选择,包括重型支架、用于光刻印刷的工具模块以及单波长或多波长版本。

该系统可以集成到任何OAI光刻系统中。

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