什么是主动磁屏蔽（磁场消除器）？

更新时间：2023-04-14

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近年来，电子束设备的性能有了显着提高，但另一方面，允许的磁场也越来越严格。主动式磁屏蔽（磁场消除器）通过3轴磁场控制器以高灵敏度检测干扰的波动磁场，通过由XYZ 3轴组成的亥姆霍兹线圈产生抵消它的磁场，并抑制磁场线圈内部的磁场波动。用于控制和稳定线圈的磁场发生器通过引入该产品，即使在磁环境非常不稳定的地方，也可以充分展示电子束设备的性能。

也可以将抵消线圈安装在设备的框架上。半导体测量和检测设备无需占用大的安装面积。

主要用途

・电子显微镜（TEM/SEM）
・电子束掩模写入器
・口罩检查设备
・质谱仪
・聚焦离子束（FIB）

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